Objectif
Micro- and nanoelectromechanical system (MEMS and NEMS) components are vital for many industrial and consumer products such as airbag systems in cars and motion controls in mobile phones, and many of these MEMS and NEMS enabled applications have a large impact on European industry and society. However, the potential of MEMS and NEMS is being critically hampered by their dependence on integrated circuit (IC) manufacturing technologies. Most micro- and nano-manufacturing methods have been developed by the IC industry and are characterized by highly standardized manufacturing processes that are adapted for extremely large production volumes of more than 10.000 wafers per month. In contrast, the vast majority of MEMS and NEMS applications only demands production volumes of less than 100 wafers per month in combination with different non-standardized manufacturing and integration processes for each product. If a much wider variety of diverse and even low-volume MEMS and NEMS products shall be exploited, the semiconductor manufacturing paradigm has to be broken. In this project, we therefore will focus on frontier research on new paradigms for flexible and cost-efficient manufacturing and integration of MEMS and NEMS within three related research areas:
(1) Wafer-Level Heterogeneous Integration for MEMS and NEMS, where we explore new and improved wafer-level heterogeneous integration technologies for MEMS and NEMS devices;
(2) Integration of Materials into MEMS Using High-Speed Wire Bonding Tools, where we explore new ways of integrating various types of wire materials into MEMS devices;
(3) Free-Form 3D Printing of Mono-Crystalline Silicon Micro- and Nanostructures, where we explore entirely novel ways of implementing mono-crystalline silicon MEMS and NEMS structures that can be arbitrarily shaped.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- ingénierie et technologie nanotechnologie nanosystèmes électromécaniques
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie de l’information télécommunication téléphone mobile
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
- ingénierie et technologie génie mécanique ingénierie de fabrication fabrication additive
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
ERC-2011-StG_20101014
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Institution d’accueil
100 44 STOCKHOLM
Suède
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.