Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-06-18

New Paradigms for MEMS & NEMS Integration

Cel

Micro- and nanoelectromechanical system (MEMS and NEMS) components are vital for many industrial and consumer products such as airbag systems in cars and motion controls in mobile phones, and many of these MEMS and NEMS enabled applications have a large impact on European industry and society. However, the potential of MEMS and NEMS is being critically hampered by their dependence on integrated circuit (IC) manufacturing technologies. Most micro- and nano-manufacturing methods have been developed by the IC industry and are characterized by highly standardized manufacturing processes that are adapted for extremely large production volumes of more than 10.000 wafers per month. In contrast, the vast majority of MEMS and NEMS applications only demands production volumes of less than 100 wafers per month in combination with different non-standardized manufacturing and integration processes for each product. If a much wider variety of diverse and even low-volume MEMS and NEMS products shall be exploited, the semiconductor manufacturing paradigm has to be broken. In this project, we therefore will focus on frontier research on new paradigms for flexible and cost-efficient manufacturing and integration of MEMS and NEMS within three related research areas:
(1) Wafer-Level Heterogeneous Integration for MEMS and NEMS, where we explore new and improved wafer-level heterogeneous integration technologies for MEMS and NEMS devices;
(2) Integration of Materials into MEMS Using High-Speed Wire Bonding Tools, where we explore new ways of integrating various types of wire materials into MEMS devices;
(3) Free-Form 3D Printing of Mono-Crystalline Silicon Micro- and Nanostructures, where we explore entirely novel ways of implementing mono-crystalline silicon MEMS and NEMS structures that can be arbitrarily shaped.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

ERC-2011-StG_20101014
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

ERC-SG - ERC Starting Grant

Instytucja przyjmująca

KUNGLIGA TEKNISKA HOEGSKOLAN
Wkład UE
€ 1 495 982,00
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Beneficjenci (1)

Moja broszura 0 0