Objetivo
As microelectronic device dimensions continue to shrink, system performance is becoming limited by the interconnect delay. A major component of this delay arises from intra-level capacitance. The dielectric must therefore have a low dielectric constant in order to minimize the capacitance between the lines and maximize performance at reduced dimensions. Silicon oxycarbides with dielectric constant of 2.7-3.0 are already being used in advanced production processes. In order to reduce the dielectric constant further, porosity has to be introduced into the film. Initial research, performed on spin-on dielectrics, already revealed many integration issues related to the porosity of these materials. In order to achieve production-worthy processes, chemical vapour deposition is the preferred way to fabricate these films.
In this project, plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) is used to develop processes for ultra-low K deposition. This research project makes use of the most advanced production-compatible equipment on 300mm Si wafers. Through selection of the optimum precursors and process conditions, suitable films will be developed. The project will investigate the impact of the plasma parameters on film properties, such as uniformity, composition, dielectric constant, pore size and pore distribution, elastic modulus and strength. The films will be integrated in IMEC's back-end of line processes to investigate etch behaviour, CMP compatibility and reliability properties. Specific plasma characterization of the deposition and clean recipes will be performed to optimise both.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas física de la materia condensada cuasipartículas
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
FP6-2004-MOBILITY-12
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
IRG - Marie Curie actions-International re-integration grants
Coordinador
LEUVEN
Bélgica
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.