Obiettivo
As microelectronic device dimensions continue to shrink, system performance is becoming limited by the interconnect delay. A major component of this delay arises from intra-level capacitance. The dielectric must therefore have a low dielectric constant in order to minimize the capacitance between the lines and maximize performance at reduced dimensions. Silicon oxycarbides with dielectric constant of 2.7-3.0 are already being used in advanced production processes. In order to reduce the dielectric constant further, porosity has to be introduced into the film. Initial research, performed on spin-on dielectrics, already revealed many integration issues related to the porosity of these materials. In order to achieve production-worthy processes, chemical vapour deposition is the preferred way to fabricate these films.
In this project, plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) is used to develop processes for ultra-low K deposition. This research project makes use of the most advanced production-compatible equipment on 300mm Si wafers. Through selection of the optimum precursors and process conditions, suitable films will be developed. The project will investigate the impact of the plasma parameters on film properties, such as uniformity, composition, dielectric constant, pore size and pore distribution, elastic modulus and strength. The films will be integrated in IMEC's back-end of line processes to investigate etch behaviour, CMP compatibility and reliability properties. Specific plasma characterization of the deposition and clean recipes will be performed to optimise both.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze fisiche fisica della materia condensata quasiparticelle
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
FP6-2004-MOBILITY-12
Vedi altri progetti per questo bando
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
IRG - Marie Curie actions-International re-integration grants
Coordinatore
LEUVEN
Belgio
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.