Objectif
General Goals
Lab4MEMS will feature the Pilot Line for innovative technologies on advanced piezoelectric and magnetic materials, expected to fuel the next generation’s smart sensors and actuators based on MEMS:
1. Micro-actuators, micro-pumps, sensors and electrical power generators, integrated on silicon-based piezoelectric materials (PZT)
• for use in Data Storage, Ink Jet, Health Care, Automotive and Energy Scavenging
2. Magnetic field sensors integrated on silicon-based Anisotropic Magneto Resistance (AMR) materials.
• for use in consumer applications such as GPS positioning and mobile phones
3. Advanced packaging technologies and vertical interconnections (flip chip, Through Silicon Vias or Through Mold Vias) for full 3D integration.
• For use in CONSUMER and HEALTHCARE application such as body area sensors and remote monitoring.
Lab4MEMS will be promoted as an add-on to the current Manufacturing facilities located in each respective participating countries, aiming to implement and optimize the industrial processes and to validate the demonstrators suitable to penetrate the market.
Potential impact:
This pilot line will fit a new set of R&D equipments and tools for PZT and AMR, as part of a larger manufacturing facility already in place in Agrate Brianza (Italy) for high volume 3-axis MEMS accelerometers and gyroscope (i.e. >100M devices/month). This strategy will allow increasing and maintaining the know-how on those very strategic enabling technologies, combining scientific skills with the ability to design and manufacture a wide range of smart micro-nano systems on silicon.
The Lab4MEMS Pilot Line will be based on 200 mm wafer scale (with a forward looking impact analysis for a future move to 300mm wafer) and it will process more than 600 wafers/week, once in operation.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs capteurs intelligents
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- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
ENIAC-2012-2
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)
Coordinateur
20864 Agrate Brianza
Italie
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
Participants (20)
10129 Torino
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
10129 Torino
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
16163 GENOVA
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
20133 Milano
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
40125 BOLOGNA
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
75015 Paris
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
33608 PESSAC
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
MSD 2080 MSIDA
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
7521 PE Enschede
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
5211 VW 'S-HERTOGENBOSCH
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
01510 VANTAA
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
01620 VANTAA
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
02150 Espoo
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
3001 Heverlee
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
060042 Bucharest
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02668 WARSZAWA
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.
7034 Trondheim
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0283 Oslo
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6240 RADFELD/TIROL
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Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.