Process Module Integration for a Multichamber Production System

Información del proyecto

PROMIMPS

Identificador del acuerdo de subvención: 5041

Proyecto cerrado

Fecha de inicio 15 Abril 1990

Fecha de finalización 14 Abril 1993

Financiado con arreglo a

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Coste total

Sin datos

Aportación de la UE

Sin datos

Coordinado por

Plasmos GmbH Prozeßtechnik
Germany

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Publicaciones

Other (1)

RAPID THERMAL PROCESSING EQUIPMENT DESIGN AND INTEGRATION FOR A CLUSTER TOOL MODULE

Autores: THEILER T (A.S.T. ELEKTRONIK GMBH, ULM (DE))
Publicado en: EXTRACT: ESPRIT 1991 : CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 165-173 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Página(s) 165-173