Process Module Integration for a Multichamber Production System

Informazioni relative al progetto

PROMIMPS

ID dell’accordo di sovvenzione: 5041

Progetto chiuso

Data di avvio 15 Aprile 1990

Data di completamento 14 Aprile 1993

Finanziato da

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Costo totale

Nessun dato

Contributo UE

Nessun dato

Coordinato da

Plasmos GmbH Prozeßtechnik
Germany

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I link ai risultati e alle pubblicazioni dei progetti del 7° PQ, così come i link ad alcuni tipi di risultati specifici come dataset e software, sono recuperati dinamicamente da .OpenAIRE .

Pubblicazioni

Other (1)

RAPID THERMAL PROCESSING EQUIPMENT DESIGN AND INTEGRATION FOR A CLUSTER TOOL MODULE

Autori: THEILER T (A.S.T. ELEKTRONIK GMBH, ULM (DE))
Pubblicato in: EXTRACT: ESPRIT 1991 : CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 165-173 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Pagina/e 165-173