Process Module Integration for a Multichamber Production System

Informations projet

PROMIMPS

N° de convention de subvention: 5041

Projet clôturé

Date de début 15 Avril 1990

Date de fin 14 Avril 1993

Financé au titre de

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Coût total

Aucune donnée

Contribution de l’UE

Aucune donnée

Coordonné par

Plasmos GmbH Prozeßtechnik
Germany

CORDIS fournit des liens vers les livrables publics et les publications des projets HORIZON.

Les liens vers les livrables et les publications des projets du 7e PC, ainsi que les liens vers certains types de résultats spécifiques tels que les jeux de données et les logiciels, sont récupérés dynamiquement sur OpenAIRE .

Publications

Other (1)

RAPID THERMAL PROCESSING EQUIPMENT DESIGN AND INTEGRATION FOR A CLUSTER TOOL MODULE

Auteurs: THEILER T (A.S.T. ELEKTRONIK GMBH, ULM (DE))
Publié dans: EXTRACT: ESPRIT 1991 : CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 165-173 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Page(s) 165-173