Process Module Integration for a Multichamber Production System

Projektinformationen

PROMIMPS

ID Finanzhilfevereinbarung: 5041

Projekt abgeschlossen

Startdatum 15 April 1990

Enddatum 14 April 1993

Finanziert unter

• European strategic programme (EEC) for research and development in information technologies (ESPRIT), 1987-1992

Gesamtkosten

Keine Daten

EU-Beitrag

Keine Daten

Koordiniert durch

Plasmos GmbH Prozeßtechnik
Germany

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Veröffentlichungen

Other (1)

RAPID THERMAL PROCESSING EQUIPMENT DESIGN AND INTEGRATION FOR A CLUSTER TOOL MODULE

Autoren: THEILER T (A.S.T. ELEKTRONIK GMBH, ULM (DE))
Veröffentlicht in: EXTRACT: ESPRIT 1991 : CONFERENCE PROCEEDINGS (1991) PP. 165-173 (EUR 13853) THE OFFICE FOR OFFICIAL PUBLICATIONS OF THE EUROPEAN COMMUNITIES, L-2985 LUXEMBOURG, 1991, Seite(n) 165-173