European 450mm Lithography and Metrology Development for Advanced Patterning

Información del proyecto

E450LMDAP

Identificador del acuerdo de subvención: 621280

Proyecto cerrado

Fecha de inicio 1 Octubre 2014

Fecha de finalización 1 Octubre 2017

Financiado con arreglo a

• Specific Programme "Cooperation": Joint Technology Initiatives

Coste total

€ 459 306 457,73

Aportación de la UE

€ 68 895 968,66

Coordinado por

ASML NETHERLANDS B.V.
Netherlands

Objetivo

The overall goal of the E450LMDAP project is to develop 450 mm lithography and metrology modules and tools and to initiate distributed pilot line activities over the 450 mm lithography and metrology tool platform eco system. These pilot line activities will go down to the pilot lines of the lithography tool and the related (sub-)systems and components supply chain and metrology tool suppliers. In addition, also early 1x node patterning module qualification at the imec’s pilot line will be part of the project. Lithography, metrology and deposition equipment performance suited for 450 mm will be demonstrated, interconnected with holistic methodologies to the 450 mm pilot line at imec which is equipped with European systems. The project will complement the engagement of the European semiconductor equipment industry in the 450mm wafer size transition that started with the ENIAC JU EEMI450 initiative and proceeded with subsequent projects funded with public money, amongst others NGC450, SOI450, EEM450PR and E450EDL which will result into first critical process module availability in the imec pilot line.
The consortium comprises 44 members from 7 different European countries with SMEs and research institutes and also IDM as end users. The project is organized in three technical work packages and a work package on management and coordination.
The main objective in the work package on lithography is to develop and to have prototyping activities comprising amongst others wafer stage, wafer handler, optics, electronic as well as preliminary tool system qualification.
In the dedicated work package on metrology 450mm metrology tool types will be developed for wafer and mask platforms as well as a holistic metrology data hub for advance lithography data management and fab.
Finally, in the work package on advanced patterning a selection of critical N10 layers, which are currently under development at 300mm wafer sizes, will be transferred to an early 450mm lithography platform.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

• ciencias naturales › ciencias físicas › óptica
• ciencias naturales › ciencias físicas › electromagnetismo y electrónica › dispositivo semiconductor

Programa(s)

• FP7-JTI - Specific Programme "Cooperation": Joint Technology Initiatives

Tema(s)

• SP1-JTI-ENIAC-2013-2-8 - Equipment, materials and manufacturing
• SP1-JTI-ENIAC-2013-2-7 - Semiconductor process and integration

Convocatoria de propuestas

ENIAC-2013-2
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Régimen de financiación

JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.

• Aportación de la UE: € 15 516 436,45
• Dirección: DE RUN 6501 ; 5504DR VELDHOVEN ; Países Bajos
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Participantes (40)

AAE BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 75 484,18
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

PFEIFFER VACUUM

Francia

• Aportación de la UE: € 377 048,47
• Dirección: 98 AVENUE DE BROGNY ; 74000 ANNECY
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Haute-Savoie
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD

Israel

• Aportación de la UE: € 7 341 572,18
• Dirección: OPPENHEIMER STREET 9 ; 76705 REHOVOT
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

ADVANCED MASK TECHNOLOGY CENTER GMBH & CO KG

Alemania

• Aportación de la UE: € 486 384,40
• Dirección: RAHNITZER ALLEE 9 ; 1109 Dresden
• Región: Sachsen › Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

ASM BELGIUM NV

Bélgica

• Aportación de la UE: € 423 036,00
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 HEVERLEE
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

ASML BELGIUM BVBA

Bélgica

• Aportación de la UE: € 362 256,90
• Dirección: KALMTHOUTSESTEENWEG 100 ; 2919 Essen
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Antwerpen › Arr. Antwerpen
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

ASYS GmbH & Co. KG

Alemania

• Aportación de la UE: € 250 119,49
• Dirección: Gottlob-Bauknecht-Str. 4 ; 73614 SCHORNDORF
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Benchmark Electronics B.V.

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 252 060,00
• Dirección: Lelyweg 10 ; 7602EA Almelo
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

ASML BERLIN GMBH

Alemania

• Aportación de la UE: € 3 277 793,27
• Dirección: WALDKRAIBURGER STRASSE 5 ; 12347 Berlin
• Región: Berlin › Berlin › Berlin
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

ROBERT BOSCH GMBH

Alemania

• Aportación de la UE: € 515 862,24
• Dirección: ROBERT-BOSCH-PLATZ 1 ; 70839 Gerlingen-Schillerhoehe
• Región: Baden-Württemberg › Stuttgart › Ludwigsburg
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Bosch Rexroth B.V.

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 117 150,00
• Dirección: KRUISBROEKSESTRAAT 1 ; 5281 RV BOXTEL
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

SIOUX CCM BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 297 167,55
• Dirección: DE PINCKART 24 ; 5674 CC NUENEN
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Francia

• Aportación de la UE: € 466 063,61
• Dirección: RUE LEBLANC 25 ; 75015 Paris
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Paris
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: Sin datos

COVENTOR SARL

Francia

• Aportación de la UE: € 172 390,77
• Dirección: 1 RUE MARCEL PAUL ; 91300 MASSY
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Essonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Entegris Cleaning Process (ECP) SAS

Francia

• Aportación de la UE: € 53 280,63
• Dirección: RUE DU ROCHER DE LORZIER 196 ; 38430 MOIRANS
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG

Alemania

• Aportación de la UE: Sin datos
• Dirección: Wilschdorfer Landstrasse 101 ; 01109 Dresden
• Región: Sachsen › Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Integrated Dynamics Engineering GmbH

Alemania

• Aportación de la UE: € 1 468 220,10
• Dirección: Karl-Liebknecht-strasse 30 ; 65479 Raunheim
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM

Bélgica

• Aportación de la UE: € 631 151,00
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: Sin datos

IPPON INNOVATION

Francia

• Aportación de la UE: € 53 171,64
• Dirección: 4 RUE DU POISSON ; 31500 Toulouse
• Región: Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Irmato Industrial Solutions Eindhoven BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 252 910,90
• Dirección: Marinus van Meelweg 24 ; 5667 EN Eindhoven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

BRUKER TECHNOLOGIES LTD

Israel

• Aportación de la UE: € 773 334,30
• Dirección: 6 HAMECHKAR STREET RAMAT GAVRIEL INDUSTRIAL ZONE ; 2306990 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)

Israel

• Aportación de la UE: € 2 287 897,56
• Dirección: HATIKSHORET ST. ; 23100 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

KMWE PRECISION BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 485 070,14
• Dirección: BIC 1 ; 5657 BX Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS

Francia

• Aportación de la UE: € 59 173,49
• Dirección: RUE MICHEL ANGE 3 ; 75794 PARIS
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: Sin datos

Nanomotion Ltd.

Israel

• Aportación de la UE: € 405 951,16
• Dirección: Hayetzira 3 ; 20692 Yoqneam
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

NEWAYS TECHNOLOGIES BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 252 496,58
• Dirección: SCIENCE PARK EINDHOVEN 5709 ; 5692 EP Son En Breugel
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

NOVA LTD

Israel

• Aportación de la UE: € 1 601 196,85
• Dirección: 5 DAVID FIKES ST ; 76100 REHOVOT
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED

Reino Unido

• Aportación de la UE: € 162 015,00
• Dirección: TUBNEY WOODS ; OX13 5QX Abingdon
• Región: South East (England) › Berkshire, Buckinghamshire and Oxfordshire › Oxfordshire
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

PRODRIVE TECHNOLOGIES BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 285 951,00
• Dirección: SCIENCE PARK EINDHOVEN 5501 ; 5692 EM Son
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

RECIF TECHNOLOGIES

Francia

• Aportación de la UE: € 45 207,21
• Dirección: rue des briquetiers 9 ; 31700 Blagnac
• Región: Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

REDEN B.V.

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 58 363,23
• Dirección: F HAZEMEIJERSTRAAT 800 ; 7555 RJ Hengelo Ov
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

SEGULA Technologies Nederland B.V.

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 66 286,50
• Dirección: High Tech Campus 9 ; 5656 AE EINDHOVEN
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

SemiLev GmbH

Alemania

• Aportación de la UE: € 65 440,81
• Dirección: Industriering 7 ; 63868 GROSSEWALLSTADT
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

STMICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Francia

• Aportación de la UE: € 616 580,99
• Dirección: RUE JEAN MONNET 850 ; 38920 CROLLES
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Isère
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 798 485,46
• Dirección: ANNA VAN BUERENPLEIN 1 ; 2595 DA DEN HAAG
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: Sin datos

Toppan Photomasks Germany GmbH

Alemania

• Aportación de la UE: € 590 481,89
• Dirección: Raehnitzer Allee 9 ; 01109 Dresden
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 206 394,30
• Dirección: STEVINWEG 1 ; 2628 CN DELFT
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: Sin datos

VDL ENABLING TECHNOLOGIES GROUP EINDHOVEN BV

Países Bajos

• Aportación de la UE: € 10 373 342,79
• Dirección: ACHTSEWEG NOORD 5 AK-1 K113 ; 5651 GG Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

CARL ZEISS SMS GMBH

Alemania

• Aportación de la UE: € 300 202,79
• Dirección: CARL ZEISS PROMENADE 10 ; 07745 Jena
• Región: Thüringen › Thüringen › Jena, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Carl Zeiss SMT GmbH

Alemania

• Aportación de la UE: € 16 653 951,47
• Dirección: Maale Camon 44 ; 21613 Karmiel
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos