Objectif
Two-photon direct laser writing (DLW) lithography is a powerful tool to fabricate 3D structures with feature sizes of ~100 nm. This technique is based on the quadratic dependence of the absorption of near-infrared (NIR) light (two-photon absorption, 2PA) by molecules called photoinitiators which trigger the photopolymerization of curable resins. With the aim of downsizing the structures to the nanometer resolution, a requirement of the microelectronics industry, a new strategy has been added to the DLW lithography, the two-beam approach (excitation and inhibition beams) based on the reversible saturable optical fluorescence transition (RESOLFT) concept. This approach is borrowed from the field of super-resolution fluorescence microscopy and consists in the reversible depletion of some intermediate excited state of the photoinitiators only at some specific areas of the point spread function (PSF) of the excitation beam. The objective of this project is to further develop the two-beam DLW lithography to make it more competitive compared to other advanced nanofabrication techniques. The project is conducted to overcome the limitations of the two-beam DLW lithography: 1) the large feature size, the state-of-the-art has recently been pushed to 9 nm line width from a previous value of 55 nm, and 2) the large spatial resolution (Abbe´s resolution limit) due to the so-called “memory effect”, this value always exceeds 2–5 times the feature size, with a lowest value of 52 nm. The approach is based on the investigation of the photophysics and photochemistry involved in the photopolymerization by means of the ultrafast transient absorption spectroscopy to shed some light on the inhibition processes. The expected results are the decrease of the actual size of the written features to the real nanometer resolution, ~1 nm and even more important to reduce the minimal distance of two adjacent yet separated lines (spatial resolution) to the same order of the feature size.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences chimiques chimie physique photochimie
- sciences naturelles sciences physiques optique microscopie microscopie à super-résolution
- sciences naturelles sciences physiques optique spectroscopie spectrométrie d’absorption
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
Vous devez vous identifier ou vous inscrire pour utiliser cette fonction
Nous sommes désolés... Une erreur inattendue s’est produite.
Vous devez être authentifié. Votre session a peut-être expiré.
Merci pour votre retour d'information. Vous recevrez bientôt un courriel confirmant la soumission. Si vous avez choisi d'être informé de l'état de la déclaration, vous serez également contacté lorsque celui-ci évoluera.
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
FP7-PEOPLE-2013-CIG
Voir d’autres projets de cet appel
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
MC-CIG - Support for training and career development of researcher (CIG)
Coordinateur
16163 Genova
Italie
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.