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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-06-18

Nanometer Resolution in Two-Beam Direct Laser Writing Lithography

Ziel

Two-photon direct laser writing (DLW) lithography is a powerful tool to fabricate 3D structures with feature sizes of ~100 nm. This technique is based on the quadratic dependence of the absorption of near-infrared (NIR) light (two-photon absorption, 2PA) by molecules called photoinitiators which trigger the photopolymerization of curable resins. With the aim of downsizing the structures to the nanometer resolution, a requirement of the microelectronics industry, a new strategy has been added to the DLW lithography, the two-beam approach (excitation and inhibition beams) based on the reversible saturable optical fluorescence transition (RESOLFT) concept. This approach is borrowed from the field of super-resolution fluorescence microscopy and consists in the reversible depletion of some intermediate excited state of the photoinitiators only at some specific areas of the point spread function (PSF) of the excitation beam. The objective of this project is to further develop the two-beam DLW lithography to make it more competitive compared to other advanced nanofabrication techniques. The project is conducted to overcome the limitations of the two-beam DLW lithography: 1) the large feature size, the state-of-the-art has recently been pushed to 9 nm line width from a previous value of 55 nm, and 2) the large spatial resolution (Abbe´s resolution limit) due to the so-called “memory effect”, this value always exceeds 2–5 times the feature size, with a lowest value of 52 nm. The approach is based on the investigation of the photophysics and photochemistry involved in the photopolymerization by means of the ultrafast transient absorption spectroscopy to shed some light on the inhibition processes. The expected results are the decrease of the actual size of the written features to the real nanometer resolution, ~1 nm and even more important to reduce the minimal distance of two adjacent yet separated lines (spatial resolution) to the same order of the feature size.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

FP7-PEOPLE-2013-CIG
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

MC-CIG - Support for training and career development of researcher (CIG)

Koordinator

FONDAZIONE ISTITUTO ITALIANO DI TECNOLOGIA
EU-Beitrag
€ 100 000,00
Adresse
VIA MOREGO 30
16163 GENOVA
Italien

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Region
Nord-Ovest Liguria Genova
Aktivitätstyp
Research Organisations
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten
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