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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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3D Silicon Micromachining with Infrared ultrafast LasErs

Objectif

The aim of the present proposal is to initiate an interdisciplinary research program to develop 3D micromachining of silicon towards novel silicon photonics and microfluidic applications. We are motivated by the myriad of applications based on 3D micromachining of glass that peaked in the early 2000's, and still continues to impact integrated photonics and microfluidics, among other fields. These successes were achieved using lasers at wavelengths for which glass is transparent (most commonly 1 um, 800 nm and their second harmonics). Most of the important results demonstrated in glass can be carried over to silicon using a long-wavelength laser (beyond 1.1 um, silicon is highly transparent), though it is clear that the physics will be different, not least because glass is amorphous and silicon is crystalline. To this end, we propose an interdisciplinary research effort that includes first developing the necessary laser technology, then building up the physical understanding, and finally pursuing high impact applications. Our approach can be summarized as:

(1) Developing a novel, femtosecond, high-energy laser at 1.5 um,
(2) Developing in-situ diagnostics based on pump-probe imaging of the laser-material interaction,
(3) Exploring the physics of the laser-silicon interaction,
(4) Applying our physical understanding and laser technology as a platform to 3D micromachining of silicon towards novel silicon-photonics and microfluidic applications.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme de financement

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) H2020-MSCA-IF-2014

Voir tous les projets financés au titre de cet appel

Coordinateur

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Contribution nette de l'UE

La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.

€ 145 845,60
Adresse
ESKISEHIR YOLU 8 KM
06800 Bilkent Ankara
Turquie

Voir sur la carte

Région
Batı Anadolu Ankara Ankara
Type d’activité
Higher or Secondary Education Establishments
Liens
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

€ 145 845,60
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