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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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3D Silicon Micromachining with Infrared ultrafast LasErs

Ziel

The aim of the present proposal is to initiate an interdisciplinary research program to develop 3D micromachining of silicon towards novel silicon photonics and microfluidic applications. We are motivated by the myriad of applications based on 3D micromachining of glass that peaked in the early 2000's, and still continues to impact integrated photonics and microfluidics, among other fields. These successes were achieved using lasers at wavelengths for which glass is transparent (most commonly 1 um, 800 nm and their second harmonics). Most of the important results demonstrated in glass can be carried over to silicon using a long-wavelength laser (beyond 1.1 um, silicon is highly transparent), though it is clear that the physics will be different, not least because glass is amorphous and silicon is crystalline. To this end, we propose an interdisciplinary research effort that includes first developing the necessary laser technology, then building up the physical understanding, and finally pursuing high impact applications. Our approach can be summarized as:

(1) Developing a novel, femtosecond, high-energy laser at 1.5 um,
(2) Developing in-situ diagnostics based on pump-probe imaging of the laser-material interaction,
(3) Exploring the physics of the laser-silicon interaction,
(4) Applying our physical understanding and laser technology as a platform to 3D micromachining of silicon towards novel silicon-photonics and microfluidic applications.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Alle im Rahmen dieses Finanzierungsinstruments finanzierten Projekte anzeigen

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

(öffnet in neuem Fenster) H2020-MSCA-IF-2014

Alle im Rahmen dieser Aufforderung zur Einreichung von Vorschlägen finanzierten Projekte anzeigen

Koordinator

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Netto-EU-Beitrag

Finanzieller Nettobeitrag der EU. Der Geldbetrag, den der Beteiligte erhält, abzüglich des EU-Beitrags an mit ihm verbundene Dritte. Berücksichtigt die Aufteilung des EU-Finanzbeitrags zwischen den direkten Begünstigten des Projekts und anderen Arten von Beteiligten, wie z. B. Dritten.

€ 145 845,60
Adresse
ESKISEHIR YOLU 8 KM
06800 Bilkent Ankara
Türkei

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Region
Batı Anadolu Ankara Ankara
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

€ 145 845,60
Mein Booklet 0 0