Objetivo
Within the ERC-M&M´s Starting Grant project (No.277879) we are exploring an innovative platform technology for wafer-level heterogeneous integration of integrated circuits (ICs) with micro/nano-electromechanical systems (MEMS/NEMS). This type of heterogeneous 3D integration technology is part of the More-than-Moore paradigm depicted in the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) and allows the combination of standard CMOS-based integrated circuits and high-performance MEMS devices to form complex and highly integrated systems that are not possible to manufacture with other micro-manufacturing approaches. First heterogeneous integration platforms for IC-integrated MEMS products have already been commercialized with great success by InvenSense (USA) and by mCube (USA) in collaboration with TSMC (Taiwan), the world’s largest CMOS foundry. However, the established heterogeneous integration technologies have limitations with respect to the type of MEMS devices that can be realized and the extent to which the MEMS-ICs system component can be miniaturized. The heterogeneous integration platform developed in this ERC-M&M’s+2 Proof of Concept proposal is suitable for a variety of small-sized MEMS components with large-volume markets, including infrared (IR) detector arrays, micro-mirror arrays, ultra-low power circuits based on NEM switches (a specific target application are low-power FPGAs), gyroscopes, accelerometers, microphones, etc. Thus, the heterogeneous integration platform is addressing a potential multi-billion € market. In contrast to the competing technologies, our heterogeneous integration platform is enabling the integration of ICs and MEMS/NEMS devices with extremely small device dimensions in the nm-range, very small via dimensions in the sub-1μm-range and placement accuracies of the MEMS/NEMS components on the target ICs in the nm-range.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ingeniería y tecnología nanotecnología sistemas nanoelectromecánicos
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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H2020-EU.1.1. - EXCELLENT SCIENCE - European Research Council (ERC)
PROGRAMA PRINCIPAL
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
ERC-POC - Proof of Concept Grant
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) ERC-2015-PoC
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
100 44 Stockholm
Suecia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.