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Publicaciones
Autores:
X Wang, SJ Bleiker, M Antelius, G Stemme, F Niklaus
Publicado en:
Journal of Microelectromechanical Systems, Edición PP, 99, 2017, Página(s) 1-9, ISSN 1057-7157
Editor:
Institute of Electrical and Electronics Engineers
DOI:
10.1109/JMEMS.2017.2654510
Autores:
Frank Niklaus, Andreas C. Fischer
Publicado en:
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2016, Página(s) 1-2, ISBN 978-1-5090-1035-6
Editor:
IEEE
DOI:
10.1109/OMN.2016.7565909
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