Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Platform for Heterogeneous Integration of NEMS on ICs

Cel

Within the ERC-M&M´s Starting Grant project (No.277879) we are exploring an innovative platform technology for wafer-level heterogeneous integration of integrated circuits (ICs) with micro/nano-electromechanical systems (MEMS/NEMS). This type of heterogeneous 3D integration technology is part of the More-than-Moore paradigm depicted in the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) and allows the combination of standard CMOS-based integrated circuits and high-performance MEMS devices to form complex and highly integrated systems that are not possible to manufacture with other micro-manufacturing approaches. First heterogeneous integration platforms for IC-integrated MEMS products have already been commercialized with great success by InvenSense (USA) and by mCube (USA) in collaboration with TSMC (Taiwan), the world’s largest CMOS foundry. However, the established heterogeneous integration technologies have limitations with respect to the type of MEMS devices that can be realized and the extent to which the MEMS-ICs system component can be miniaturized. The heterogeneous integration platform developed in this ERC-M&M’s+2 Proof of Concept proposal is suitable for a variety of small-sized MEMS components with large-volume markets, including infrared (IR) detector arrays, micro-mirror arrays, ultra-low power circuits based on NEM switches (a specific target application are low-power FPGAs), gyroscopes, accelerometers, microphones, etc. Thus, the heterogeneous integration platform is addressing a potential multi-billion € market. In contrast to the competing technologies, our heterogeneous integration platform is enabling the integration of ICs and MEMS/NEMS devices with extremely small device dimensions in the nm-range, very small via dimensions in the sub-1μm-range and placement accuracies of the MEMS/NEMS components on the target ICs in the nm-range.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: https://op.europa.eu/pl/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

ERC-POC - Proof of Concept Grant

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) ERC-2015-PoC

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Instytucja przyjmująca

KUNGLIGA TEKNISKA HOEGSKOLAN
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 150 000,00
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 150 000,00

Beneficjenci (1)

Moja broszura 0 0