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CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
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Platform for Heterogeneous Integration of NEMS on ICs

Obiettivo

Within the ERC-M&M´s Starting Grant project (No.277879) we are exploring an innovative platform technology for wafer-level heterogeneous integration of integrated circuits (ICs) with micro/nano-electromechanical systems (MEMS/NEMS). This type of heterogeneous 3D integration technology is part of the More-than-Moore paradigm depicted in the International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) and allows the combination of standard CMOS-based integrated circuits and high-performance MEMS devices to form complex and highly integrated systems that are not possible to manufacture with other micro-manufacturing approaches. First heterogeneous integration platforms for IC-integrated MEMS products have already been commercialized with great success by InvenSense (USA) and by mCube (USA) in collaboration with TSMC (Taiwan), the world’s largest CMOS foundry. However, the established heterogeneous integration technologies have limitations with respect to the type of MEMS devices that can be realized and the extent to which the MEMS-ICs system component can be miniaturized. The heterogeneous integration platform developed in this ERC-M&M’s+2 Proof of Concept proposal is suitable for a variety of small-sized MEMS components with large-volume markets, including infrared (IR) detector arrays, micro-mirror arrays, ultra-low power circuits based on NEM switches (a specific target application are low-power FPGAs), gyroscopes, accelerometers, microphones, etc. Thus, the heterogeneous integration platform is addressing a potential multi-billion € market. In contrast to the competing technologies, our heterogeneous integration platform is enabling the integration of ICs and MEMS/NEMS devices with extremely small device dimensions in the nm-range, very small via dimensions in the sub-1μm-range and placement accuracies of the MEMS/NEMS components on the target ICs in the nm-range.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: https://op.europa.eu/it/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

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Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

ERC-POC - Proof of Concept Grant

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito di questo schema di finanziamento

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

(si apre in una nuova finestra) ERC-2015-PoC

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito del bando

Istituzione ospitante

KUNGLIGA TEKNISKA HOEGSKOLAN
Contributo netto dell'UE

Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.

€ 150 000,00
Indirizzo
BRINELLVAGEN 8
100 44 Stockholm
Svezia

Mostra sulla mappa

Regione
Östra Sverige Stockholm Stockholms län
Tipo di attività
Higher or Secondary Education Establishments
Collegamenti
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

€ 150 000,00

Beneficiari (1)

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