Obiettivo
Microchips have caused a revolution in electronics over the last few decades. Following Moore's law, much effort has been put into continuously shrinking electronic feature dimensions. Indeed, typical feature sizes of semi-conductor decreased from 10 µm in 1971 to 14 nm in 2014. With the shrinkage of feature sizes, plasma etching plays a more and more important role due to its anisotropy during surface processing.
However, to go beyond 14 nm features, current state-of-the-art plasma processing faces significant challenges, such as plasma induced damage. Recently, one such novel process with limited plasma damage is cryogenic etching of low-k material with SF6/O2/SiF4 and CxFy plasmas.
In this project, the fundamental mechanisms of the plasma, and its interaction with the surface, for these gas mixtures, will be studied to improve cryogenic plasma etching.
For this purpose, numerical models (a hybrid Monte Carlo - fluid model and molecular dynamics model) will be employed to describe (i) the plasma behavior for SF6/O2/SiF4 and CxFy gas mixtures applied for cryogenic etching, and (ii) the surface interactions of the plasma species with the substrate during etching.
Furthermore, cryogenic etch experiments will also be conducted to validate the modeling results during the secondment. Such an interdisciplinary project, including chemistry, physics, mathematics, computer modeling and chemical engineering, will definitely widen the applicant’s expertise in different plasma investigation approaches.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
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- scienze sociali scienze politiche transizioni politiche rivoluzioni
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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H2020-EU.1.3. - EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions
PROGRAMMA PRINCIPALE
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H2020-EU.1.3.2. - Nurturing excellence by means of cross-border and cross-sector mobility
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
MSCA-IF-EF-ST - Standard EF
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) H2020-MSCA-IF-2015
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
2000 Antwerpen
Belgio
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.