Extreme-Light Seeded Control of Ultrafast Laser Material Modifications

Projektinformationen

EXSEED

ID Finanzhilfevereinbarung: 724480

DOI

10.3030/724480

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 1 Februar 2017

Startdatum 1 Mai 2017

Enddatum 31 Oktober 2022

Finanziert unter

• EXCELLENT SCIENCE - European Research Council (ERC)

Gesamtkosten

€ 1 833 406,00

EU-Beitrag

€ 1 833 406,00

Koordiniert durch

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS
France

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Veröffentlichungen

Peer reviewed articles (26)

Short-Pulse Lasers: A Versatile Tool in Creating Novel Nano-/Micro-Structures and Compositional Analysis for Healthcare and Wellbeing Challenges

Autoren: Ahmed Al-Kattan, David Grojo, Christophe Drouet, Alexandros Mouskeftaras, Philippe Delaporte, Adrien Casanova, Jérôme D. Robin, Frédérique Magdinier, Patricia Alloncle, Catalin Constantinescu, Vincent Motto-Ros, Jörg Hermann
Veröffentlicht in: Nanomaterials, Ausgabe 11/3, 2021, Seite(n) 712, ISSN 2079-4991
Herausgeber: MDPI
DOI: 10.3390/nano11030712

Deep Silicon Amorphization Induced by Femtosecond Laser Pulses up to the Mid‐Infrared

Autoren: Mario Garcia‐Lechuga, Noemi Casquero, Andong Wang, David Grojo, Jan Siegel
Veröffentlicht in: Advanced Optical Materials, Ausgabe 9/17, 2021, Seite(n) 2100400, ISSN 2195-1071
Herausgeber: Wiley
DOI: 10.1002/adom.202100400

Amorphization and Ablation of Crystalline Silicon Using Ultrafast Lasers: Dependencies on the Pulse Duration and Irradiation Wavelength

Autoren: M. Garcia-Lechuga, N. Casquero, J. Siegel, J. Solis, R. Clady, A. Wang, O. Utéza, D. Grojo
Veröffentlicht in: Laser and Photonics Reviews, 2024, Seite(n) 2301327, ISSN 1863-8880
Herausgeber: Wiley - VCH Verlag GmbH & CO. KGaA
DOI: 10.1002/lpor.202301327

Simple and robust method for determination of laser fluence thresholds for material modifications: an extension of Liu’s approach to imperfect beams

Autoren: Mario Garcia-Lechuga, David Grojo
Veröffentlicht in: Open Research Europe, Ausgabe 1, 2021, Seite(n) 7, ISSN 2732-5121
Herausgeber: EU Commission
DOI: 10.12688/openreseurope.13073.2

In-chip critical plasma seeds for laser writing of reconfigurable silicon photonics systems

Autoren: Andong Wang, Amlan Das, Vladimir Yu Fedorov, Pol Sopeña, Stelios Tzortzakis, David Grojo
Veröffentlicht in: Nature Communications, Ausgabe 16, 2025, ISSN 2041-1723
Herausgeber: Nature Publishing Group
DOI: 10.1038/s41467-025-61983-9

In‐Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities

Autoren: Maxime Chambonneau, David Grojo, Onur Tokel, Fatih Ömer Ilday, Stelios Tzortzakis, Stefan Nolte
Veröffentlicht in: Laser & Photonics Reviews, Ausgabe 2100140, 2021, Seite(n) 2100140, ISSN 1863-8880
Herausgeber: Wiley - VCH Verlag GmbH & CO. KGaA
DOI: 10.1002/lpor.202100140

Femtosecond laser induced creation of G and W-centers in silicon-on-insulator substrates

Autoren: H. Quard, M. Khoury, A. Wang, T. Herzig, J. Meijer, S. Pezzagna, S. Cueff, D. Grojo, M. Abbarchi, H. S. Nguyen, N. Chauvin, T. Wood
Veröffentlicht in: Physical Review Applied, Ausgabe 21, 2023, Seite(n) 21 044014, ISSN 2331-7019
Herausgeber: APS
DOI: 10.1103/physrevapplied.21.044014

Internal structuring of gallium arsenide using short laser pulses

Autoren: Amlan Das, Andong Wang, Olivier Utéza, and David Grojo
Veröffentlicht in: Optics Express, Ausgabe 30/39101, 2022, ISSN 1094-4087
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/oe.471432

Separated nano jetting and micro jetting regimes by double-pulse irradiation of a metal film: towards multiscale printing

Autoren: Anjali Murali, Qingfeng Li, David Grojo, Patricia Alloncle, and Philippe Delaporte
Veröffentlicht in: Optics Express, Ausgabe 30/34693, 2022, ISSN 1094-4087
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/oe.464763

Multiphoton-initiated laser writing of semiconductors using nanosecond mid-infrared pulses

Autoren: P. Sopeña, N. Ganguly, G. Spühler, A. Selivanau, D. Grojo
Veröffentlicht in: Journal of Optics and Laser Technologies, Ausgabe 179, 2024, Seite(n) 111419, ISSN 0030-3992
Herausgeber: Elsevier BV
DOI: 10.1016/j.optlastec.2024.111419

In-volume structuring of silicon using picosecond laser pulses

Autoren: H. Kämmer, G. Matthäus, S. Nolte, M. Chanal, O. Utéza, D. Grojo
Veröffentlicht in: Applied Physics A, Ausgabe 124/4, 2018, ISSN 0947-8396
Herausgeber: Springer Verlag
DOI: 10.1007/s00339-018-1715-1

Crossing the threshold of ultrafast laser writing in bulk silicon

Autoren: Margaux Chanal, Vladimir Yu. Fedorov, Maxime Chambonneau, Raphaël Clady, Stelios Tzortzakis, David Grojo
Veröffentlicht in: Nature Communications, Ausgabe 8/1, 2017, ISSN 2041-1723
Herausgeber: Nature Publishing Group
DOI: 10.1038/s41467-017-00907-8

Inscribing diffraction gratings in bulk silicon with nanosecond laser pulses

Autoren: M. Chambonneau, D. Richter, S. Nolte, D. Grojo
Veröffentlicht in: Optics Letters, Ausgabe 43/24, 2018, Seite(n) 6069, ISSN 0146-9592
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/OL.43.006069

Competing Nonlinear Delocalization of Light for Laser Inscription Inside Silicon with a 2- µ m Picosecond Laser

Autoren: M. Chambonneau, L. Lavoute, D. Gaponov, V.Y. Fedorov, A. Hideur, S. Février, S. Tzortzakis, O. Utéza, D. Grojo
Veröffentlicht in: Physical Review Applied, Ausgabe 12/2, 2019, ISSN 2331-7019
Herausgeber: American Physics Society
DOI: 10.1103/PhysRevApplied.12.024009

Positive- and negative-tone structuring of crystalline silicon by laser-assisted chemical etching

Autoren: M. Chambonneau, X. Wang, X. Yu, Q. Li, D. Chaudanson, S. Lei, D. Grojo
Veröffentlicht in: Optics Letters, Ausgabe 44/7, 2019, Seite(n) 1619, ISSN 0146-9592
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/OL.44.001619

Evidencing the nonlinearity independence of resolution in femtosecond laser ablation

Autoren: M. Garcia-Lechuga, O. Utéza, N. Sanner, D. Grojo
Veröffentlicht in: Optics Letters, Ausgabe 45/4, 2020, Seite(n) 952, ISSN 0146-9592
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/ol.382610

Ultrafast Laser Writing Deep inside Silicon with THz-Repetition-Rate Trains of Pulses

Autoren: Andong Wang, Amlan Das, David Grojo
Veröffentlicht in: Research, Ausgabe 2020, 2020, Seite(n) 1-11, ISSN 2639-5274
Herausgeber: Research
DOI: 10.34133/2020/8149764

Assessing the limits of determinism and precision in ultrafast laser ablation

Autoren: M. Garcia-Lechuga, G. Gebrayel El Reaidy, H. Ning, P. Delaporte, D. Grojo
Veröffentlicht in: Applied Physics Letters, Ausgabe 117/17, 2020, Seite(n) 171604, ISSN 0003-6951
Herausgeber: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/5.0023294

Transmission Laser Welding of Similar and Dissimilar Semiconductor Materials

Autoren: Pol Sopeña, Andong Wang, Alexandros Mouskeftaras, David Grojo
Veröffentlicht in: Laser & Photonics Reviews, Ausgabe 16/2200208, 2022, ISSN 1863-8880
Herausgeber: Wiley - VCH Verlag GmbH & CO. KGaA
DOI: 10.1002/lpor.202200208

Ultra-high-aspect-ratio structures through silicon using infrared laser pulses focused with axicon-lens doublets

Autoren: N. Ganguly, P. Sopeña, D. Grojo
Veröffentlicht in: Light: Advanced Manufacturing, Ausgabe 5, 2024, Seite(n) 22, ISSN 2689-9620
Herausgeber: Light Publishing Group
DOI: 10.37188/lam.2024.022

Ultrafast laser stabilization by nonlinear absorption for enhanced-precision material processing

Autoren: Pol Sopeña, Mario Garcia-Lechuga, Andong Wang, David Grojo
Veröffentlicht in: Optics Letters, Ausgabe 47/993, 2022, ISSN 0146-9592
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/ol.449720

Three-dimensional luminescence microscopy for quantitative plasma characterization in bulk semiconductors

Autoren: A. Wang, A. Das, J. Hermann, D. Grojo
Veröffentlicht in: Applied Physics Letters, Ausgabe 119/4, 2021, Seite(n) 041108, ISSN 0003-6951
Herausgeber: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/5.0059431

Pulse-duration dependence of laser-induced modifications inside silicon

Autoren: Amlan Das, Andong Wang, Olivier Uteza, David Grojo
Veröffentlicht in: Optics Express, Ausgabe 28/18, 2020, Seite(n) 26623, ISSN 1094-4087
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/oe.398984

Wavelength-Independent Performance of Femtosecond Laser Dielectric Ablation Spanning Over Three Octaves

Autoren: Mario Garcia-Lechuga; Olivier Utéza; Nicolas Sanner; David Grojo
Veröffentlicht in: Physical Review Applied, Ausgabe 19, 2023, Seite(n) 044047, ISSN 2331-7019
Herausgeber: APS
DOI: 10.1103/physrevapplied.19.044047

Temporal-contrast imperfections as drivers for ultrafast laser modifications in bulk silicon

Autoren: Andong Wang, Amlan Das, David Grojo
Veröffentlicht in: Physical Review Research, Ausgabe 2/3, 2020, ISSN 2643-1564
Herausgeber: APS
DOI: 10.1103/physrevresearch.2.033023

Burst mode enabled ultrafast laser inscription inside gallium arsenide

Autoren: Andong Wang, Pol Sopeña, David Grojo
Veröffentlicht in: International Journal of Extreme Manufacturing, Ausgabe 4/045001, 2022, ISSN 2631-8644
Herausgeber: IOPScience
DOI: 10.1088/2631-7990/ac8fc3