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A Complimentary Inspection Technique based on Computer Tomography and Plenoptic Camera for MEMS Components

Objectif

For the latest generation of micro-fabricated devices that are currently being developed, no suitable in-line production inspection equipment is available, simply because current inspection equipment expects planar processing while most of the devices are often highly 3D in nature e.g. medical. This lack of automated processing feedback makes it difficult to steer process development towards higher yields in micro-components and MEMS production. Another visible problem is the need to document and record process data, even on the individual device level, with the degree of traceability as is required for example, for medical devices fabricated under ISO13485. Both factors in the end limit the possibility of reliable and cost effective manufacturing of MEMS and micro-components.
Thus, CITCOM has been proposed to address the industrial needs of MEMS and micro-manufacturing which will offer an in-line production inspection and measurement system for micro-components. The system will be developed and demonstrated at TRL7. The system will be based on optical and X-ray techniques combined with computer tomography and advance robotic system capable of analyzing defects that occur in production of micro components e.g. stains, debris, fracture, abnormal displacements, chemical composition of surface coatings, surface traces etc. enabling 98% yield and 100% reliability.
Ultimately, CITCOM will cut such costs by 60% as it will offer a system with automated knowledge and inspection data based process feedback that will allow the detection and traceability of faults that may occur in MEMS production, especially for critical applications like aerospace, space and healthcare.
CITCOM will give Europe a technological and competitive advantage in the growing manufacturing and production industry. The consortium behind this action is strongly driven by industrial need and problem having Philips and Microsemi as end users and validators of the technology.

Appel à propositions

H2020-IND-CE-2016-17

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Sous appel

H2020-FOF-2017

Régime de financement

IA - Innovation action

Coordinateur

CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA - RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT
Contribution nette de l'UE
€ 829 918,28
Adresse
Rue Jaquet Droz 1
2000 Neuchatel
Suisse

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Région
Schweiz/Suisse/Svizzera Espace Mittelland Neuchâtel
Type d’activité
Research Organisations
Autres sources de financement
€ 829 918,28

Participants (11)

PHILIPS ELECTRONICS NEDERLAND BV
Pays-Bas
Contribution nette de l'UE
€ 325 452,97
Adresse
High Tech Campus 52
5656 AG Eindhoven

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Région
Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 325 452,97
MICROCHIP TECHNOLOGY CALDICOT LIMITED
United Kingdom
Contribution nette de l'UE
€ 87 118,12
Adresse
Phase 2 Castlegate Business Park
NP26 5YW Gwent

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Région
Wales East Wales Monmouthshire and Newport
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 87 118,12
RAYTRIX GMBH
Allemagne
Contribution nette de l'UE
€ 308 249,38
Adresse
Schauenburgerstrasse 116
24118 Kiel

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PME

L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.

Oui
Région
Schleswig-Holstein Schleswig-Holstein Kiel, Kreisfreie Stadt
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 308 249,38
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Finlande
Contribution nette de l'UE
€ 345 561,25
Adresse
Tekniikantie 21
02150 Espoo

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Région
Manner-Suomi Helsinki-Uusimaa Helsinki-Uusimaa
Type d’activité
Research Organisations
Autres sources de financement
€ 345 561,25
TWI LIMITED
United Kingdom
Contribution nette de l'UE
€ 770 105,00
Adresse
Granta Park Great Abington
CB21 6AL Cambridge

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Région
East of England East Anglia Cambridgeshire CC
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 770 105,00
EXCILLUM AB
Suède
Contribution nette de l'UE
€ 475 359,68
Adresse
Jan Stenbecks Torg 17
164 40 Kista

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PME

L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.

Oui
Région
Östra Sverige Stockholm Stockholms län
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 475 359,68
AIXACCT SYSTEMS GMBH
Allemagne
Contribution nette de l'UE
€ 450 094,53
Adresse
Talbotsr 25
52068 Aachen

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PME

L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.

Oui
Région
Nordrhein-Westfalen Köln Städteregion Aachen
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 450 094,53
POLYTEC LIMITED
United Kingdom
Contribution nette de l'UE
€ 57 799,88
Adresse
Lambda House Lower Luton Road
AL5 5BZ Harpenden, Hertfordshire

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PME

L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.

Oui
Région
East of England Bedfordshire and Hertfordshire Hertfordshire
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 57 799,88
ACONDICIONAMIENTO TARRASENSE ASSOCIACION
Espagne
Contribution nette de l'UE
€ 238 562,50
Adresse
Carrer De La Innovacio 2
08225 Terrassa

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Région
Este Cataluña Barcelona
Type d’activité
Research Organisations
Autres sources de financement
€ 238 562,50
INNOVATIVE TECHNOLOGY AND SCIENCE LIMITED - INNOTECUK
United Kingdom
Contribution nette de l'UE
€ 344 942,80
Adresse
Hildersham Road North Wing The Old Livery
CB21 6DR Cambridge

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PME

L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.

Oui
Région
East of England East Anglia Cambridgeshire CC
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Autres sources de financement
€ 344 942,80
BRUNEL UNIVERSITY LONDON
United Kingdom
Contribution nette de l'UE
€ 529 871,25
Adresse
Kingston Lane
UB8 3PH Uxbridge

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Région
London Outer London — West and North West Harrow and Hillingdon
Type d’activité
Higher or Secondary Education Establishments
Autres sources de financement
€ 529 871,25