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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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A Complimentary Inspection Technique based on Computer Tomography and Plenoptic Camera for MEMS Components

Ziel

For the latest generation of micro-fabricated devices that are currently being developed, no suitable in-line production inspection equipment is available, simply because current inspection equipment expects planar processing while most of the devices are often highly 3D in nature e.g. medical. This lack of automated processing feedback makes it difficult to steer process development towards higher yields in micro-components and MEMS production. Another visible problem is the need to document and record process data, even on the individual device level, with the degree of traceability as is required for example, for medical devices fabricated under ISO13485. Both factors in the end limit the possibility of reliable and cost effective manufacturing of MEMS and micro-components.
Thus, CITCOM has been proposed to address the industrial needs of MEMS and micro-manufacturing which will offer an in-line production inspection and measurement system for micro-components. The system will be developed and demonstrated at TRL7. The system will be based on optical and X-ray techniques combined with computer tomography and advance robotic system capable of analyzing defects that occur in production of micro components e.g. stains, debris, fracture, abnormal displacements, chemical composition of surface coatings, surface traces etc. enabling 98% yield and 100% reliability.
Ultimately, CITCOM will cut such costs by 60% as it will offer a system with automated knowledge and inspection data based process feedback that will allow the detection and traceability of faults that may occur in MEMS production, especially for critical applications like aerospace, space and healthcare.
CITCOM will give Europe a technological and competitive advantage in the growing manufacturing and production industry. The consortium behind this action is strongly driven by industrial need and problem having Philips and Microsemi as end users and validators of the technology.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

IA - Innovation action

Alle im Rahmen dieses Finanzierungsinstruments finanzierten Projekte anzeigen

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

(öffnet in neuem Fenster) H2020-IND-CE-2016-17

Alle im Rahmen dieser Aufforderung zur Einreichung von Vorschlägen finanzierten Projekte anzeigen

Koordinator

CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA - RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT
Netto-EU-Beitrag

Finanzieller Nettobeitrag der EU. Der Geldbetrag, den der Beteiligte erhält, abzüglich des EU-Beitrags an mit ihm verbundene Dritte. Berücksichtigt die Aufteilung des EU-Finanzbeitrags zwischen den direkten Begünstigten des Projekts und anderen Arten von Beteiligten, wie z. B. Dritten.

€ 829 918,28
Adresse
RUE JAQUET DROZ 1
2000 NEUCHATEL
Schweiz

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Region
Schweiz/Suisse/Svizzera Espace Mittelland Neuchâtel
Aktivitätstyp
Research Organisations
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

€ 829 918,55

Beteiligte (11)

Mein Booklet 0 0