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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Laser-driven plasma sources of extreme ultraviolet light for nanolithography

Objetivo

Moore’s law is not dead. Keeping it alive is of significant importance to society and to the economy. The prediction that the number of transistors in computer and memory chips doubles every two years, has pushed innovative, disruptive technologies, enabling the smartphone and driving tomorrow’s green automotive industries. It changes society.

The density of elements realized on a chip is defined by one essential step in their production: lithography. Moore’s law thus provides a challenge to science and industry to develop beyond state of the art lithographic technologies. This challenge is being met by introducing extreme ultraviolet (EUV) lithography in high-volume manufacturing. This is happening right now. Generating the required EUV light – from tin-microdroplet-based laser-driven plasma sources – of sufficient power, reliability, and stability, presents a formidable, multi-faceted task, combining industrial innovations with attractive scientific questions.

My proposal addresses this EUV source challenge through the following objectives: (1) create insight into tin-droplet deformation and fragmentation for optimal target preparation through laser-pulse impact, the first step of the two-step sequence used to produce EUV light; (2) provide understanding of the myriad of atomic plasma processes responsible for the emission of EUV light in the second step of the process; (3) understand and push the fundamental limit of this plasma-conversion of laser light into EUV light; and (4) explain and control how the laser-produced plasma expands. Each of these objectives has a significant potential impact in its own field of science and technology. This proposal as a whole has a further goal, namely to use the knowledge gained to transition from the CO2-laser technology currently in use for driving EUV sources to the superior, modern, solid-state lasers, to achieve the industrial dream of a plasma EUV light source that is one order of magnitude brighter.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Palabras clave

Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

ERC-STG - Starting Grant

Ver todos los proyectos financiados en el marco de este régimen de financiación

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

(se abrirá en una nueva ventana) ERC-2018-STG

Ver todos los proyectos financiados en el marco de esta convocatoria

Institución de acogida

STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK INSTITUTEN
Aportación neta de la UEn

Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.

€ 1 500 000,00
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

€ 1 500 000,00

Beneficiarios (1)

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