Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Laser-driven plasma sources of extreme ultraviolet light for nanolithography

Cel

Moore’s law is not dead. Keeping it alive is of significant importance to society and to the economy. The prediction that the number of transistors in computer and memory chips doubles every two years, has pushed innovative, disruptive technologies, enabling the smartphone and driving tomorrow’s green automotive industries. It changes society.

The density of elements realized on a chip is defined by one essential step in their production: lithography. Moore’s law thus provides a challenge to science and industry to develop beyond state of the art lithographic technologies. This challenge is being met by introducing extreme ultraviolet (EUV) lithography in high-volume manufacturing. This is happening right now. Generating the required EUV light – from tin-microdroplet-based laser-driven plasma sources – of sufficient power, reliability, and stability, presents a formidable, multi-faceted task, combining industrial innovations with attractive scientific questions.

My proposal addresses this EUV source challenge through the following objectives: (1) create insight into tin-droplet deformation and fragmentation for optimal target preparation through laser-pulse impact, the first step of the two-step sequence used to produce EUV light; (2) provide understanding of the myriad of atomic plasma processes responsible for the emission of EUV light in the second step of the process; (3) understand and push the fundamental limit of this plasma-conversion of laser light into EUV light; and (4) explain and control how the laser-produced plasma expands. Each of these objectives has a significant potential impact in its own field of science and technology. This proposal as a whole has a further goal, namely to use the knowledge gained to transition from the CO2-laser technology currently in use for driving EUV sources to the superior, modern, solid-state lasers, to achieve the industrial dream of a plasma EUV light source that is one order of magnitude brighter.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Słowa kluczowe

Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

ERC-STG - Starting Grant

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) ERC-2018-STG

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Instytucja przyjmująca

STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK INSTITUTEN
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 1 500 000,00
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 1 500 000,00

Beneficjenci (1)

Moja broszura 0 0