IC Technology for the 2nm Node

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Publications

B and Ga Co-Doped Si1−xGex for p-Type Source/Drain Contacts

Auteurs: Gianluca Rengo, Clement Porret, Andriy Hikavyy, Erik Rosseel, Mustafa Ayyad, Richard J. H. Morris, Rami Khazaka, Roger Loo, and André Vantomme
Publié dans: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Numéro 2022 11 024008, 2022, Page(s) 24008 (10 pages), ISSN 2162-8769
Éditeur: Electrochemical Society, Inc.
DOI: 10.1149/2162-8777/ac546e

Scan-Free GEXRF in the Soft X-ray Range for the Investigation of Structured Nanosamples

Auteurs: Staeck, S.; Andrle, A.; Hoenicke, P.; Baumann, J.; Groetzsch, D.; Weser, J.; Goetzke, G.; Jonas, A.; Kayser, Y.; Foerste, F.; Mantouvalou, I.; Viefhaus, J.; Soltwisch, V.; Stiel, H.; Beckhoff, B.; Kanngiesser, B.
Publié dans: Nanomaterials, Vol 12, Iss 21, p 3766 (2022), Numéro 1, 2022, Page(s) 3766, ISSN 2079-4991
Éditeur: MDPI
DOI: 10.3390/nano12213766

Systematic Study on the Amorphous, C-Axis-Aligned Crystalline, and Protocrystalline Phases in In–Ga–Zn Oxide Thin-Film Transistors

Auteurs: Anastasia V. Glushkova, Harold F. W. Dekkers, Manoj Nag, Jose Ignacio del Agua Borniquel, Jothilingam Ramalingam, Jan Genoe, Paul Heremans, and Cedric Rolin
Publié dans: 2021 ACS Applied Electronic Materials, Numéro 26376113, 2021, Page(s) pp. 1268 - 1278, ISSN 2637-6113
Éditeur: American Chemical Society
DOI: 10.1021/acsaelm.0c01091

Sequential Error Disentanglement of Three-Phase Current Sensor for AC Machine in Standstill Conditions

Auteurs: Darian Verdy Retianza, Juris Arrozy, Jeroen van Duivenbode, Henk Huisman, Bas Vermulst
Publié dans: IEEE Access, Numéro Volume 10, 2022, Page(s) 113902 - 113914, ISSN 2169-3536
Éditeur: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI: 10.1109/access.2022.3218311

Experimental determination of the gadolinium L subshells fluorescence yields and Coster-Kronig transition probabilities

Auteurs: Yves Kayser, Philipp Hönicke, Malte Wansleben, André Wählisch, Burkhard Beckhoff
Publié dans: X-ray spectromtry, Numéro 52, 2023, Page(s) 235-246, ISSN 1097-4539
Éditeur: John Wiley & Sons Ltd
DOI: 10.1002/xrs.3313

Joining Caffeic Acid and Hydrothermal Treatment to Produce Environmentally Benign Highly Reduced Graphene Oxide

Auteurs: A. Barra, O.A. Lazar, A.G. Pantazi, M.J. Hortiguela, G.O. Irurueta, M. Enachescu, E.R. Hitzky, C. Nunes, P. Ferreira
Publié dans: Nanomaterials, Numéro 20794991, 2021, Page(s) 732, ISSN 2079-4991
Éditeur: MDPI Publishing Services
DOI: 10.3390/nano11030732

Experimental determination of the hafnium L-subshell fundamental parameters using the holistic approach

Auteurs: Nils Wauschkuhn, Heiko Gundlach and Philipp Hönicke
Publié dans: New Journal of Physics, Numéro 26, 2024, Page(s) 033017, ISSN 1367-2630
Éditeur: Institute of Physics Publishing
DOI: 10.1088/1367-2630/ad2fff

On the growth of copper oxide nanowires by thermal oxidation near the threshold temperature at atmospheric pressure

Auteurs: C.C. Moise, L.B. Enache, V. Anastasoaie, O.A. Lazar, G.V. Mihai, S.P. Rosoiu, M. Bercu, M. Enachescu
Publié dans: Journal of Alloys and Compounds, Numéro 09258388, 2021, Page(s) 161130, ISSN 0925-8388
Éditeur: Elsevier BV
DOI: 10.1016/j.jallcom.2021.161130

Microsecond non-melt UV laser annealing for future 3D-stacked CMOS

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Fabien Rozé, Louis Thuries, Sebastien Halty, Pierre-Edouard Raynal, Karim Huet, Fulvio Mazzamuto, Abhijeet Joshi, Bulent Basol, Pablo Acosta Alba, Sébastien Kerdilès
Publié dans: Applied Physics Express, 2022, ISSN 1882-0778
Éditeur: Japan Soc of Applied Physics
DOI: 10.35848/1882-0786/ac6e2a

Experimental and theoretical approaches for determining the K-shell fluorescence yield of carbon

Auteurs: Philipp Hönicke, Rainer Unterumsberger, Mauro Guerra, Nils Wauschkuhn, Markus Krämer, Jorge Sampaio, Fernando Parente, Paul Indelicato, José Pires Marques, José Paulo Santos, Burkhard Beckhoff
Publié dans: Radiation Physics and Chemistry, Numéro 0969806X, 2022, Page(s) 110501, ISSN 0969-806X
Éditeur: Pergamon Press Ltd.
DOI: 10.1016/j.radphyschem.2022.110501

On Improved Commutation for Moving-Magnet Planar Actuators

Auteurs: Yorick Broens;Hans Butler; Roland Tóth
Publié dans: IEEE Control Systems Letters, Numéro Volume 7, 2023, Page(s) 2593 - 2598, ISSN 2475-1456
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/lcsys.2023.3288076

The Water-Based Synthesis of Platinum Nanoparticles Using KrF Excimer Laser Ablation

Auteurs: Lazar, O.A.; Moise, C.C.; Nikolov, A.S.; Enache, L.-B.; Mihai, G.V.; Enachescu, M.
Publié dans: Nanomaterials, Numéro 20794991, 2022, Page(s) 348, ISSN 2079-4991
Éditeur: MDPI Publishing Services
DOI: 10.3390/nano12030348

Challenges of grazing emission X-ray fluorescence (GEXRF) for the characterization of advanced nanostructured surfaces

Auteurs: Dieter Skroblin; Analía Fernández Herrero; Thomas Siefke; Konstantin Nikolaev; Anna Andrle; Philipp Hönicke; Yves Kayser; Michael Krumrey; Christian Gollwitzer; Victor Soltwisch
Publié dans: Nanoscale, Numéro 14, 2022, Page(s) 15475-15483, ISSN 2040-3372
Éditeur: Royal Society of Chemistry
DOI: 10.1039/d2nr03046b

Solid Phase Recrystallization in Arsenic Ion-Implanted Silicon-On-Insulator by Microsecond UV Laser Annealing

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Fabien Rozé, Pablo Acosta Alba, Sebastien Halty, Pierre-Edouard Raynal, Imen Karmous, Sébastien Kerdilés, Fulvio Mazzamuto
Publié dans: IEEE Journal of the Electron Devices Society, Numéro Early Access, 2021, ISSN 2168-6734
Éditeur: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI: 10.1109/jeds.2021.3131911

Characterization of an RF excited broad beam ion source operating with inert gases

Auteurs: Erik Rohkamm, Daniel Spemann, Frank Scholze, Frank Frost
Publié dans: Journal of Applied Physics, Numéro 129/22, 2021, Page(s) 223305, ISSN 0021-8979
Éditeur: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/5.0052758

Recent Progresses and Perspectives of UV Laser Annealing Technologies for Advanced CMOS Devices

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Fabien Rozé, Louis Thuries, Sébastien Halty, Pierre-Edouard Raynal, Imen Karmous and Karim Huet
Publié dans: Electronics, Numéro 20799292, 2022, Page(s) 2636, ISSN 2079-9292
Éditeur: MDPI
DOI: 10.3390/electronics11172636

Electrochemical Deposition of Ferromagnetic Ni Nanoparticles in InP Nanotemplates Fabricated by Anodic Etching Using Environmentally Friendly Electrolyte

Auteurs: C.C. Moise, G.V. Mihai, L. Anicai, E.V. Monaico, V.V. Ursaki, M. Enachescu, I.M. Tiginyanu
Publié dans: Nanomaterials, Numéro 12(21) 2022, 2022, ISSN 2079-4991
Éditeur: MDPI Publisher Services
DOI: 10.3390/nano12213787

Experimental determination of tantalum L-shell fluorescence yields and Coster–Kronig transition probabilities

Auteurs: Nils Wauschkuhn, Katja Frenzel, Burkhard Beckhoff and Philipp Hönicke
Publié dans: J. Anal. At. Spectrom., Numéro 38, 2023, Page(s) 197-203, ISSN 1364-5544
Éditeur: Royal Society of Chemistry
DOI: 10.1039/d2ja00325b

Fabrication of Pt nanoparticles by nanosecond pulsed laser ablation in aqueous solution of ethanol using KrF excimer laser

Auteurs: Lazar, O.A.; Nikolov, A.S.; Moise, C.C.; Rosoiu, S.; Prodana, M.; Enachescu, M.
Publié dans: Applied Surface Science, Numéro 2022, 2022, ISSN 1873-5584
Éditeur: Elsevier B.V. All
DOI: 10.1016/j.apsusc.2022.155289

KrF excimer laser for Pt–NPs synthesis by PLAL in isopropanol solution and their use in a SERS application

Auteurs: O.A. Lazar, A.S. Nikolov, C.C. Moise, G.V. Mihai, M. Prodana, M. Enachescu
Publié dans: Journal of Materials Research and Technology, Numéro (24), 2023, 2023, Page(s) 7135-7152, ISSN 2214-0697
Éditeur: Elsevier B.V.
DOI: 10.1016/j.jmrt.2023.04.268

A novel and holistic approach for experimental x-ray fundamental parameter determination—the Ru L-shell

Auteurs: Philipp Hönicke
Publié dans: New Journal of Physics, Numéro 25, 2023, Page(s) 073012, ISSN 1367-2630
Éditeur: Institute of Physics Publishing
DOI: 10.1088/1367-2630/ace3ec

Dopant Redistribution and Activation in Ga Ion-Implanted High Ge Content SiGe by Explosive Crystallization during UV Nanosecond Pulsed Laser Annealing

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Huet Karim, Fabien Rozé, Fulvio Mazzamuto, Bernard Sermage, Petros Kopalidis, Dwight Roh
Publié dans: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Numéro 10/2, 2021, Page(s) 023005, ISSN 2162-8769
Éditeur: Electrochemical Society, Inc.
DOI: 10.1149/2162-8777/abe2ee

Experimental determination of ruthenium L-shell fluorescence yields and Coster–Kronig transition probabilities

Auteurs: Nils Wauschkuhn, Katja Frenzel, Burkhard Beckhoff and Philipp Hönicke
Publié dans: J. Anal. At. Spectrom., 2023, ISSN 1364-5544
Éditeur: Royal Society of Chemistry
DOI: 10.1039/d3ja00085k

Demonstration of 3D sequential FD-SOI on CMOS FinFET stacking featuring low temperature Si layer transfer and top tier device fabrication with tier interconnection

Auteurs: A. Vandooren et al.
Publié dans: VLSI Symposium, Numéro June 2022, 2022
Éditeur: VLSI
DOI: 10.1109/vlsitechnologyandcir46769.2022.9830400

LPV sequential loop closing for high-precision motion systems

Auteurs: Yorick Broens; Hans Butler; Roland Tóth
Publié dans: 2022 IEEE (ACC) American control conference, 2022
Éditeur: IEEE
DOI: 10.23919/acc53348.2022.9867621

Copper Large-Scale Grain Growth by UV Nanosecond Pulsed Laser Annealing

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Pierre-Edouard Raynal, Fabien Roze, Sebastien Halty, Louis Thuries, Fuccio Cristiano, Emmanuel Scheid, Fulvio Mazzamuto
Publié dans: 2021 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC), Numéro 6-9 July 2021, 2021, Page(s) 1-3, ISBN 978-1-7281-7632-1
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/iitc51362.2021.9537312

Failure Mode Analysis in Microsecond UV Laser Annealing of Cu Thin Films

Auteurs: Remi Demoulin, Richard Daubriac, Louis Thuries, Emmanuel Scheid, Fabien Rozé, Fuccio Cristiano, Toshiyuki Tabata, Fulvio Mazzamuto
Publié dans: 2022 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC), 2022
Éditeur: IEEE

Exploring the use of deep learning in task-flexible ILC

Auteurs: Anantha Sai Hariharan Vinjarapu; Yorick Broens; Hans Butler; Roland Tóth
Publié dans: American Control Conference (ACC), Numéro 2023, 2023, ISBN 979-8-3503-2806-6
Éditeur: IEEE
DOI: 10.23919/acc55779.2023.10156467

Microsecond UV laser annealing annihilating Ru grains smaller than electron mean free path

Auteurs: Lu Lu; Nicolas Jourdan; Richard Daubriac; Toshiyuki Tabata; Fabien Roze; Louis Thuries; Fuccio Cristiano; Zsolt Tokei
Publié dans: 2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM), 2023
Éditeur: IEEE

Reference Model based Data-driven Control of Power Amplifiers for High-precision Motion Systems

Auteurs: Duo Xu; Mihai-Serban Popescu; Mircea Lazar
Publié dans: 2023 Conference on Control Technology and Applications, Numéro 2023, 2023, ISBN 979-8-3503-3544-6
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/ccta54093.2023.10252583

NS-Pulsed Melt Laser Annealing for Advanced CMOS Contacts

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Karim Huet, Fulvio Mazzamuto, Jean-Luc Everaert, Edward Moore, Leonard M. Rubin, and Dwight Roh
Publié dans: The 23rd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT 2022), Numéro 2022/09/28, 2022, Page(s) WE2.01
Éditeur: MRS

On the steady-state behavior of finite-control-set MPC with an application to high-precision power amplifiers

Auteurs: Duo Xu, Sander Damsma, Mircea Lazar
Publié dans: 2022 European Control Conference, 2022
Éditeur: IEEE
DOI: 10.23919/ecc55457.2022.9838191

Learning-based feedforward augmentation for steady state rejection of residual dynamics on a nanometer accurate planar actuator system

Auteurs: Ioannis Proimadis; Yorick Broens; Hans Butler; Roland Tóth
Publié dans: Proceedings of Machine Learning Research, 2021
Éditeur: MLResearch Press

Solid Phase Recrystallization and Dopant Activation in Arsenic Ion-Implanted Silicon-On-Insulator by UV Laser Annealing

Auteurs: Toshiyuki Tabata, Fabien Rozé, Pablo Acosta Alba, Sébastien Halty, Pierre-Edouard Raynal, Imen Karmous, Sébastien Kerdilès, Fulvio Mazzamuto
Publié dans: The 20th International Workshop on Junction Technology (IWJT2021), Numéro 10-11 June 2021, 2021, Page(s) S4-1
Éditeur: JSAP

On finite-control-set MPC for switched-mode power converters: Improved tracking cost function and fast policy iteration solver

Auteurs: Duo Xu, Mircea Lazar
Publié dans: IEEE Conference on Control Technology and Applications, CCTA 2022, Numéro 2022, 2022, Page(s) 1129-1134, ISBN 978-1-6654-7338-5
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/ccta49430.2022.9965987

Investigation of generalized ellipsometry applications for the detection of structural asymmetries in Gate-all-around FET architectures.

Auteurs: Dávid Egri, Emeric Balogh, Attila Sütő, Péter Basa, Miklós Tallián
Publié dans: 18th International Conference on Thin Films & 18th Joint Vacuum Conference, Numéro 22–26 November 2020, 2020
Éditeur: Emeric Balogh

SMART CUT TECHNOLOGY: FROM SUBSTRATE ENGINEERING TO ADVANCED 3D INTEGRATION

Auteurs: G. Besnard et al.
Publié dans: ICICDT conference, 2022
Éditeur: ICICDT conference

Fast model predictive control of power amplifiers for nanometer precision motion systems

Auteurs: Duo Xu; Mircea Lazar
Publié dans: European Control Conference (ECC), Numéro 2023, 2023, ISBN 978-3-907144-08-4
Éditeur: IEEE
DOI: 10.23919/ecc57647.2023.10178259

Analysis of Power Amplifier Contribution to the Precision of Motion Systems

Auteurs: Marziyeh Hajiheidari; Duo Xu; Jeroen van Duivenbode; Bas Vermulst; Mircea Lazar
Publié dans: 2022 IEEE 17th International Conference on Advanced Motion Control (AMC), Numéro 18-20 Feb. 2022, 2022
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/amc51637.2022.9729291

An Ultra Fast Short Circuit Protection for Three-Phase GaN Electric Drives

Auteurs: Darian Verdy Retianza, Luc Spooren, Jeroen van Duivenbode, Henk Huisman
Publié dans: 2021 IEEE Energy Conversion Congress and Exposition (ECCE), Numéro 16 nov 2021, 2021
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/ecce47101.2021.9595029

An Objective Evaluation of Redundant High Precision Amplifier

Auteurs: Darian Verdy Retianza, Jeroen van Duivenbode, Henk Huisman
Publié dans: 2021 IEEE 12th Energy Conversion Congress & Exposition - Asia (ECCE-Asia), Numéro 13 July 2021, 2021
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/ecce-asia49820.2021.9479055

Potential benefits of S/D HDD activation by melt laser annealing in 3D-inte-grated top-tier FDSOI FETs

Auteurs: Anne Vandooren, Toshiyuki Tabata, Pierre Eyben, Erik Roseel, A. Hikavyy, Karim Huet, Fulvio Mazzamuto, Eugenio Dentoni Litta, Naoto Horiguchi
Publié dans: 2021 International Conference on Solid State Devices and Materials, Numéro 6-9 September 2021, 2021, Page(s) 45-46
Éditeur: The Japan Society of Applied Physics

On modal observers for beyond rigid body H∞ control in high-precision mechatronics

Auteurs: Yorick Broens; Hans Butler; Roland Tóth
Publié dans: Conference on Decision and Control, Numéro 61, 2022, ISBN 978-1-6654-6761-2
Éditeur: IEEE
DOI: 10.1109/cdc51059.2022.9993406

Impact of the buried oxide thickness in UV laser heated 3D stacks

Auteurs: Pierre Morin, Toshiyuki Tabata, Fabien Rozé, Mohamed Saib, Hilde Thielens, Louis Thuries, Karim Huet, and Fulvio Mazzamuto
Publié dans: 2021 International Conference on Solid State Devices and Materials, Numéro 6-9 September 2021, 2021, Page(s) 47-48
Éditeur: The Japan Society of Applied Physics

High Bandwidth Power Amplifier with A Shunt Correction Cell

Auteurs: Marziyeh Hajiheidari; Bas Vermulst; Jeroen van Duivenbode; Henk Huisman
Publié dans: 11th International Conference on Power Electronics and ECCE Asia (ICPE 2023 - ECCE Asia), Numéro 11th, 2023, Page(s) 2105-2111, ISBN 978-89-5708-350-5
Éditeur: IEEE
DOI: 10.23919/icpe2023-ecceasia54778.2023.10213825

Top down spectroscopic techniquesfor fast characterization of nanosheet and forksheet devices

Auteurs: J. Bogdanowicz, Y. Oniki, K. Kenis, T. Nuytten, S. Sergeant, A. Franquet, V. Spampinato, T. Conard, I. Hoflijk, D. Van den Heuvel, A. L. Charley, P. Leray B. Shamieh, J. Van der Meer, Y. Leon, M. Wormington, Bruker Tech. Ltd J. Hung, R. Koret, D. Fishman, Y. Katz, N. Meir, Nova Measuring Instruments
Publié dans: Proceedings Volume PC12053, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI; PC120530G (2022), 2022
Éditeur: IMEC, NOVA, BRUKER
DOI: 10.1117/12.2626316

Recherche de données OpenAIRE...

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