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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-19

Transmission Reticles and Masks

Ziel

Photomask and reticles are a key enabling technology for the semiconductor industry. Clearly, any photomask defect or blemish will be replicated on the wafer, and without a perfect defect-free reticle exactly matched to the printing technology, viable advanced wafer fabrication is impossible. The prime objective of this project is to provide the necessary materials, equipments and processes required to manufacture advanced transmission photomasks and reticles, and so ensure the manufacturing viability of European semiconductor devices down to 0.35 microns scale. As such the project will relate closely with other European semiconductor development initiatives, notably the JESSI -MST Project T30, Manufacturing Science and Technology.

The principal objectives of TRAM are to:

- develop the transmission mask and reticle technology essential for advanced high density silicon devices (ASIC and standard components)
- provide a commercial cost effective local source of transmission masks and reticles able to satisfy the needs of the general European enterprise
- utilise new materials technologies in the provision of photomasks and reticles to the benefit of the European semiconductor industry through improved yields and improved performance
- strengthen the European equipment manufacturing sector by developing new machines targeted for specialist large area applications and world markets
- develop new processes and methods to improve the quality, yield and cycle time required to produce photomasks and reticles, including design data processing.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

Daten nicht verfügbar

Koordinator

Compugraphics International Ltd
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Eastfield Industrial Estate
KY7 4NT Glenrothes
Vereinigtes Königreich

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (6)

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