Active dielectric-on-Si3N4 double layer platform

Projektinformationen

aSINdo

ID Finanzhilfevereinbarung: 964006

DOI

10.3030/964006

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 14 November 2020

Startdatum 1 Dezember 2020

Enddatum 31 Mai 2022

Finanziert unter

• EXCELLENT SCIENCE - European Research Council (ERC)

Gesamtkosten

Keine Daten

EU-Beitrag

€ 150 000,00

Koordiniert durch

UNIVERSITEIT TWENTE
Netherlands

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Veröffentlichungen

Conference proceedings (1)

Low-loss chemical mechanically polished Al2O3 thin films for UV integrated photonics

Autoren: S. Mardani, M. Dijkstra, W.A.P.M. Hendriks, M.P. Nijhuis - Groen ,S.M. Garcia-Blanco
Veröffentlicht in: Proceedings of ECIO 2022, 2022, Seite(n) 390-392
Herausgeber: European Conference on Integrated Optics