Supersonic material ablation at THz repetition rates for ultra-efficient laser micromachining

Información del proyecto

SUPERSONIC

Identificador del acuerdo de subvención: 966846

DOI

10.3030/966846

Proyecto cerrado

Fecha de la firma de la CE 21 Enero 2021

Fecha de inicio 1 Junio 2021

Fecha de finalización 30 Noviembre 2022

Financiado con arreglo a

• EXCELLENT SCIENCE - European Research Council (ERC)

Coste total

Sin datos

Aportación de la UE

€ 150 000,00

Coordinado por

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Türkiye

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Publicaciones

Peer reviewed articles (1)

In-Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities

Autores: M. Chambonneau, D. Grojo, O. Tokel, F. Ö. Ilday, S. Tzortzakis, S. Nolte
Publicado en: Laser Photonics Rev., 2021, ISSN 1863-8880
Editor: Wiley - VCH Verlag GmbH & CO. KGaA
DOI: 10.1002/lpor.202100140

Derechos de propiedad intelectual

Patent (1)

AN OPTICAL ISOLATION METHOD

Número de solicitud/publicación: 20 910176
Fecha: 2020-12-22
Solicitante(s): BILKENT UNIVERSITESI VAKIF