Supersonic material ablation at THz repetition rates for ultra-efficient laser micromachining

Informations projet

SUPERSONIC

N° de convention de subvention: 966846

DOI

10.3030/966846

Projet clôturé

Date de signature de la CE 21 Janvier 2021

Date de début 1 Juin 2021

Date de fin 30 Novembre 2022

Financé au titre de

• EXCELLENT SCIENCE - European Research Council (ERC)

Coût total

Aucune donnée

Contribution de l’UE

€ 150 000,00

Coordonné par

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Türkiye

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Publications

Peer reviewed articles (1)

In-Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities

Auteurs: M. Chambonneau, D. Grojo, O. Tokel, F. Ö. Ilday, S. Tzortzakis, S. Nolte
Publié dans: Laser Photonics Rev., 2021, ISSN 1863-8880
Éditeur: Wiley - VCH Verlag GmbH & CO. KGaA
DOI: 10.1002/lpor.202100140

Droits de propriété intellectuelle

Patent (1)

AN OPTICAL ISOLATION METHOD

Numéro de demande/publication: 20 910176
Date: 2020-12-22
Demandeur(s): BILKENT UNIVERSITESI VAKIF