Supersonic material ablation at THz repetition rates for ultra-efficient laser micromachining

Projektinformationen

SUPERSONIC

ID Finanzhilfevereinbarung: 966846

DOI 10.3030/966846

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 21 Januar 2021

Startdatum 1 Juni 2021

Enddatum 30 November 2022

Finanziert unter

• EXCELLENT SCIENCE - European Research Council (ERC)

Gesamtkosten Keine Daten

EU-Beitrag € 150 000,00

Koordiniert durch

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Türkei

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Veröffentlichungen

Fachlich begutachtete Artikel (1)

In-Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities

Autoren: M. Chambonneau, D. Grojo, O. Tokel, F. Ö. Ilday, S. Tzortzakis, S. Nolte
Veröffentlicht in: Laser Photonics Rev., 2021, ISSN 1863-8880
Herausgeber: Wiley - VCH Verlag GmbH & CO. KGaA
DOI: 10.1002/lpor.202100140

Rechte des geistigen Eigentums

Patent (1)

AN OPTICAL ISOLATION METHOD

Antrags-/Publikationsnummer: 20 910176
Datum: 2020-12-22
Antragsteller: