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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS
Contenido archivado el 2024-04-19

IMPROVED TARGET MATERIAL FOR HIGH-YIELD SPUTTERING DEPOSITION OF HIGH QUALITY ITO FILMS WITH LOW RESISTIVITY AND HIGH OPTICAL TRANSMISSION

Objetivo


For the manufacturing of flat panel display and electrochromic devices, an high density Indium Tin Oxide (ITO) material and an improved sputtering system have been developed then tested at the preindustrial scale. These material and equipment enable to increase the utilization rate of the ITO sputtering targets without deteriorating the performances of the ITO thin films. The origin of black nodules that grow on the target surface during a sputtering operation and that lead to premature shutdown of the sputtering process has also been elucidated.

The potential benefits that can be expected from this work are a reduction of the production costs of the flat panel display systems.

The problem for the recycling of the ITO targets has also been studied and two recycling routes (for new scraps and for old scraps) have been proposed. These two recycling routes will enable a better management of the indium worldwide resources.
For the manufacturing of flat panel displays, electrochromic glazings and other large area coating files, electrical conducting layers with a high degree of optical transmission are required. Indium-Tin-oxide (ITO) is the most commonly used material for such applications.

The will of the research programme is to improve the ITO coating requirement (resistivity below 1.5 10-4 _cm, transmittance up to 98%, point effect density <100 cm-2) and the material efficiency (increase from 20% to >30% of the weight of the target used for coating and recovery of the scrap ITO).

To comply with these objectives, the programme includes news:

- Powder raw material development and preparation.
- Target design and manufacturing.
- Basic research on the sputtering process.
- Magnetron study and design.
- Recycling route development.

Process scale up will be examinated and performances of pilot coated glass will te tested in end-products experimental devices.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

Datos no disponibles

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinador

Métaleurop Recherche SA
Aportación de la UE
Sin datos
Dirección
1 avenue Albert Einstein
78193 Trappes
Francia

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Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (3)

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