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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-19

IMPROVED TARGET MATERIAL FOR HIGH-YIELD SPUTTERING DEPOSITION OF HIGH QUALITY ITO FILMS WITH LOW RESISTIVITY AND HIGH OPTICAL TRANSMISSION

Ziel


For the manufacturing of flat panel display and electrochromic devices, an high density Indium Tin Oxide (ITO) material and an improved sputtering system have been developed then tested at the preindustrial scale. These material and equipment enable to increase the utilization rate of the ITO sputtering targets without deteriorating the performances of the ITO thin films. The origin of black nodules that grow on the target surface during a sputtering operation and that lead to premature shutdown of the sputtering process has also been elucidated.

The potential benefits that can be expected from this work are a reduction of the production costs of the flat panel display systems.

The problem for the recycling of the ITO targets has also been studied and two recycling routes (for new scraps and for old scraps) have been proposed. These two recycling routes will enable a better management of the indium worldwide resources.
For the manufacturing of flat panel displays, electrochromic glazings and other large area coating files, electrical conducting layers with a high degree of optical transmission are required. Indium-Tin-oxide (ITO) is the most commonly used material for such applications.

The will of the research programme is to improve the ITO coating requirement (resistivity below 1.5 10-4 _cm, transmittance up to 98%, point effect density <100 cm-2) and the material efficiency (increase from 20% to >30% of the weight of the target used for coating and recovery of the scrap ITO).

To comply with these objectives, the programme includes news:

- Powder raw material development and preparation.
- Target design and manufacturing.
- Basic research on the sputtering process.
- Magnetron study and design.
- Recycling route development.

Process scale up will be examinated and performances of pilot coated glass will te tested in end-products experimental devices.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

Métaleurop Recherche SA
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
1 avenue Albert Einstein
78193 Trappes
Frankreich

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (3)

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