Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-04-19

IMPROVED TARGET MATERIAL FOR HIGH-YIELD SPUTTERING DEPOSITION OF HIGH QUALITY ITO FILMS WITH LOW RESISTIVITY AND HIGH OPTICAL TRANSMISSION

Cel


For the manufacturing of flat panel display and electrochromic devices, an high density Indium Tin Oxide (ITO) material and an improved sputtering system have been developed then tested at the preindustrial scale. These material and equipment enable to increase the utilization rate of the ITO sputtering targets without deteriorating the performances of the ITO thin films. The origin of black nodules that grow on the target surface during a sputtering operation and that lead to premature shutdown of the sputtering process has also been elucidated.

The potential benefits that can be expected from this work are a reduction of the production costs of the flat panel display systems.

The problem for the recycling of the ITO targets has also been studied and two recycling routes (for new scraps and for old scraps) have been proposed. These two recycling routes will enable a better management of the indium worldwide resources.
For the manufacturing of flat panel displays, electrochromic glazings and other large area coating files, electrical conducting layers with a high degree of optical transmission are required. Indium-Tin-oxide (ITO) is the most commonly used material for such applications.

The will of the research programme is to improve the ITO coating requirement (resistivity below 1.5 10-4 _cm, transmittance up to 98%, point effect density <100 cm-2) and the material efficiency (increase from 20% to >30% of the weight of the target used for coating and recovery of the scrap ITO).

To comply with these objectives, the programme includes news:

- Powder raw material development and preparation.
- Target design and manufacturing.
- Basic research on the sputtering process.
- Magnetron study and design.
- Recycling route development.

Process scale up will be examinated and performances of pilot coated glass will te tested in end-products experimental devices.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

Brak dostępnych danych

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordynator

Métaleurop Recherche SA
Wkład UE
Brak danych
Adres
1 avenue Albert Einstein
78193 Trappes
Francja

Zobacz na mapie

Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Uczestnicy (3)

Moja broszura 0 0