Objetivo
The research project has three scientific and technical objectives :
- The development of in-situ plasma diagnostics of powders associated with some ex-situ characterization
- fundamental understanding of the kinetics of formation and dynamics of trapping of powders in plasmas of reactive gases (hydrides : Si4, NH3 and fluorides : CF4, CF2Cl2, SF6)
- development of costless monitoring methods and guidelines for operation of discharge reactors either for minimizing particulate contamination in plasma-surface processing or for optimizing powder size and yield.
Several in situ diagnostics have been implemented on 5 radiofrequency (RF) (13.56 MHz) and very high frequency (VHF) (100 MHz) discharge reactors:
laser mie scattering of powders (size 0.1 to greater than 10 um) calibrated by ex situ measurements by electron microscopy;
emission spectroscopy (spatially and time resolved) and RF discharge current and power measurements;
laser photodetachment of negative ions and negatively charged particulates or powders;
in situ ellipsometry on the surface of a material to analyse the contamination by powders.
The basis of the control of powder size and yield is to operate RF discharges in a pulsed mode (100Hz-10kHz) to allow detrapping of negatively charged particulates.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería de la información telecomunicación radiotecnología radiofrecuencia
- ciencias naturales ciencias físicas óptica espectroscopia espectroscopia de emisión
- ciencias naturales ciencias físicas óptica microscopía electron microscopy
- ciencias naturales ciencias físicas óptica física del láser
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Datos no disponibles
Coordinador
91128 PALAISEAU
Francia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.