Objectif
The research project has three scientific and technical objectives :
- The development of in-situ plasma diagnostics of powders associated with some ex-situ characterization
- fundamental understanding of the kinetics of formation and dynamics of trapping of powders in plasmas of reactive gases (hydrides : Si4, NH3 and fluorides : CF4, CF2Cl2, SF6)
- development of costless monitoring methods and guidelines for operation of discharge reactors either for minimizing particulate contamination in plasma-surface processing or for optimizing powder size and yield.
Several in situ diagnostics have been implemented on 5 radiofrequency (RF) (13.56 MHz) and very high frequency (VHF) (100 MHz) discharge reactors:
laser mie scattering of powders (size 0.1 to greater than 10 um) calibrated by ex situ measurements by electron microscopy;
emission spectroscopy (spatially and time resolved) and RF discharge current and power measurements;
laser photodetachment of negative ions and negatively charged particulates or powders;
in situ ellipsometry on the surface of a material to analyse the contamination by powders.
The basis of the control of powder size and yield is to operate RF discharges in a pulsed mode (100Hz-10kHz) to allow detrapping of negatively charged particulates.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie de l’information télécommunication technologie radio fréquence radio
- sciences naturelles sciences physiques optique spectroscopie spectroscopie d’émission
- sciences naturelles sciences physiques optique microscopie electron microscopy
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
91128 PALAISEAU
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.