Obiettivo
The research project has three scientific and technical objectives :
- The development of in-situ plasma diagnostics of powders associated with some ex-situ characterization
- fundamental understanding of the kinetics of formation and dynamics of trapping of powders in plasmas of reactive gases (hydrides : Si4, NH3 and fluorides : CF4, CF2Cl2, SF6)
- development of costless monitoring methods and guidelines for operation of discharge reactors either for minimizing particulate contamination in plasma-surface processing or for optimizing powder size and yield.
Several in situ diagnostics have been implemented on 5 radiofrequency (RF) (13.56 MHz) and very high frequency (VHF) (100 MHz) discharge reactors:
laser mie scattering of powders (size 0.1 to greater than 10 um) calibrated by ex situ measurements by electron microscopy;
emission spectroscopy (spatially and time resolved) and RF discharge current and power measurements;
laser photodetachment of negative ions and negatively charged particulates or powders;
in situ ellipsometry on the surface of a material to analyse the contamination by powders.
The basis of the control of powder size and yield is to operate RF discharges in a pulsed mode (100Hz-10kHz) to allow detrapping of negatively charged particulates.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria informatica telecomunicazioni tecnologia radio frequenza radio
- scienze naturali scienze fisiche ottica spettroscopia spettroscopia a emissione
- scienze naturali scienze fisiche ottica microscopia electron microscopy
- scienze naturali scienze fisiche ottica fisica dei laser
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
91128 PALAISEAU
Francia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.