Objetivo
The main objective of the project is to introduce into microelectronics industrial processes an approach of the electron beam resist production based on modified Langmuir-Blodgett (LB) technique, which ensures fast formation of highly uniform super thin films on solid supports with large surface areas. Such an approach could improve resolution of the created micro lithographic patterns which is an important factor for the fabrication of integrated circuits. The objectives of the project are in conformity with Tasks 2.1.4.M 2.1.2.L and partially of the Brite-Euram programme. The innovative steps of present proposal to solve these problems consist in: i) synthesis and application of new surface-active polymers for the deposition of high quality electron beam sensitive LB films; ii) elaboration of deposition process conditions which enable to form such films on solid supports with large surface areas within few minutes; iii) development of specialised LB Instrument adapted for film deposition under industrial conditions. The last part of the RTD activity would be the study of functional properties of produced negative and positive LB resists, their characterisation and socioeconomic evaluations of their performance. The project will require extensive research into the above areas but the industrial benefits could be significant due to low level of investment required for the introduction of the LB technology into production cycles. The application sector for thin film resists is undoubtedly confined within microelectronics and the expected benefits are within this very field, plus possible the computer industry.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias químicas ciencia de polímeros
- ingeniería y tecnología ingeniería de materiales recubrimiento y películas
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
57033 Marciana Marina Livorno
Italia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.