Objectif
The main objective of the project is to introduce into microelectronics industrial processes an approach of the electron beam resist production based on modified Langmuir-Blodgett (LB) technique, which ensures fast formation of highly uniform super thin films on solid supports with large surface areas. Such an approach could improve resolution of the created micro lithographic patterns which is an important factor for the fabrication of integrated circuits. The objectives of the project are in conformity with Tasks 2.1.4.M 2.1.2.L and partially of the Brite-Euram programme. The innovative steps of present proposal to solve these problems consist in: i) synthesis and application of new surface-active polymers for the deposition of high quality electron beam sensitive LB films; ii) elaboration of deposition process conditions which enable to form such films on solid supports with large surface areas within few minutes; iii) development of specialised LB Instrument adapted for film deposition under industrial conditions. The last part of the RTD activity would be the study of functional properties of produced negative and positive LB resists, their characterisation and socioeconomic evaluations of their performance. The project will require extensive research into the above areas but the industrial benefits could be significant due to low level of investment required for the introduction of the LB technology into production cycles. The application sector for thin film resists is undoubtedly confined within microelectronics and the expected benefits are within this very field, plus possible the computer industry.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences chimiques science des polymères
- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux revêtement et films
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
Vous devez vous identifier ou vous inscrire pour utiliser cette fonction
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
57033 Marciana Marina Livorno
Italie
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.