Cel
The main objective of the project is to introduce into microelectronics industrial processes an approach of the electron beam resist production based on modified Langmuir-Blodgett (LB) technique, which ensures fast formation of highly uniform super thin films on solid supports with large surface areas. Such an approach could improve resolution of the created micro lithographic patterns which is an important factor for the fabrication of integrated circuits. The objectives of the project are in conformity with Tasks 2.1.4.M 2.1.2.L and partially of the Brite-Euram programme. The innovative steps of present proposal to solve these problems consist in: i) synthesis and application of new surface-active polymers for the deposition of high quality electron beam sensitive LB films; ii) elaboration of deposition process conditions which enable to form such films on solid supports with large surface areas within few minutes; iii) development of specialised LB Instrument adapted for film deposition under industrial conditions. The last part of the RTD activity would be the study of functional properties of produced negative and positive LB resists, their characterisation and socioeconomic evaluations of their performance. The project will require extensive research into the above areas but the industrial benefits could be significant due to low level of investment required for the introduction of the LB technology into production cycles. The application sector for thin film resists is undoubtedly confined within microelectronics and the expected benefits are within this very field, plus possible the computer industry.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne nauka o polimerach
- inżynieria i technologia inżynieria materiałowa powłoki
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika mikroelektronika
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
57033 Marciana Marina Livorno
Włochy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.