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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-05-21

Deep micropatterning of gaas sensor arrays by wet chemical etching

Ziel

The knowledge to be transferred is the know-how of development and implementation of technology micropatteming of GaAs substrates by wet chemical etching. For the etching experiments detailed knowledge in using photolithography shall be applied. After patterning a suitable procedure of passivation is needed. The applicant has to design the masks, to evaluate the optimum experimental parameters for etching and passivation, to choose the best composition of etchant, capping layer material etc. Furthermore, the detailed knowledge of the applicant how to characterize micropatterned Semiconductor substrates and layers before and after passivation by several microscopy and scanning probe techniques, particularly by scanning electron microscopy and atomic force microscopy in order to determine the aspect ratio, shape of groove, surface roughness, degree and homogeneity of filling of groove etc. Finally, the experience of the applicant in discussion how to apply patterned compound semiconductor substrates in devices, e. g. as active element of sensor arrays shall be used. The purpose of the project is to fabricate and test deep periodical micro pattern on semi-insulating GaAs substrates that are under discussion for application as sensor arrays for detection of high-energy X-rays used for imaging techniques with high spatial resolution as radiography and tomography. The micro pattern is a net of grooves of high aspect ratio (depth <= 100 µm, width <= than 5). These grooves shall reduce the effect of blurring in sensor arrays based on GaAs under discussion for the detection of high-energy X-rays and hence improve the spatial resolution. The project applied for shall make a definite contribution to establish the host institution as center for NDT and sensor development in Saxony.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

RGI - Research grants (individual fellowships)

Koordinator

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Krügerstraße 22
01326 WEISSIG - DRESDEN
Deutschland

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten
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