Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski pl
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-05-21

Deep micropatterning of gaas sensor arrays by wet chemical etching

Cel

The knowledge to be transferred is the know-how of development and implementation of technology micropatteming of GaAs substrates by wet chemical etching. For the etching experiments detailed knowledge in using photolithography shall be applied. After patterning a suitable procedure of passivation is needed. The applicant has to design the masks, to evaluate the optimum experimental parameters for etching and passivation, to choose the best composition of etchant, capping layer material etc. Furthermore, the detailed knowledge of the applicant how to characterize micropatterned Semiconductor substrates and layers before and after passivation by several microscopy and scanning probe techniques, particularly by scanning electron microscopy and atomic force microscopy in order to determine the aspect ratio, shape of groove, surface roughness, degree and homogeneity of filling of groove etc. Finally, the experience of the applicant in discussion how to apply patterned compound semiconductor substrates in devices, e. g. as active element of sensor arrays shall be used. The purpose of the project is to fabricate and test deep periodical micro pattern on semi-insulating GaAs substrates that are under discussion for application as sensor arrays for detection of high-energy X-rays used for imaging techniques with high spatial resolution as radiography and tomography. The micro pattern is a net of grooves of high aspect ratio (depth <= 100 µm, width <= than 5). These grooves shall reduce the effect of blurring in sensor arrays based on GaAs under discussion for the detection of high-energy X-rays and hence improve the spatial resolution. The project applied for shall make a definite contribution to establish the host institution as center for NDT and sensor development in Saxony.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Brak dostępnych danych

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

Brak dostępnych danych

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

RGI - Research grants (individual fellowships)

Koordynator

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Wkład UE
Brak danych
Adres
Krügerstraße 22
01326 WEISSIG - DRESDEN
Niemcy

Zobacz na mapie

Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych
Moja broszura 0 0