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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-06-17

Study of etching of polymers with a large area inductively coupled plasma discharge

Ziel

The task of the applicant will be the determination of a process control and end point detection method for Reactive Ion Etching process. The knowledge and the experience that I learn from JRC will benefit my current and future research work. I have an excellent experience in material treatments by plasma and laser radiation, as well as a good theoretical and practical experience in plasma reactors, particularly ECR, which will be helpful for the project as a whole.

The task of the applicant will be the determination of a process control and end point detection method for Reactive Ion Etching process. The knowledge and the experience that I learn from JRC will benefit my current and future research work. I have an excellent experience in material treatments by plasma and laser radiation, as well as a good theoretical and practical experience in plasma reactors, particularly ECR, which will be helpful for the project as a whole.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

1999/C 361/05
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

Daten nicht verfügbar

Koordinator

EUROPEAN COMMISSION JOINT RESEARCH CENTRE
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse


Norwegen

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten
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