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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2022-12-23

Stoichiometry and dopant effects on the crystallographic and electronic properties of silicon carbide crystals grown by the sublimation method

Ziel



Silicon carbide (SiC) is recognised as having great potential for electronic device applications involving high temperatures, high radiation, high frequencies and also high power. A prerequisite for the further advance of a SiC-based semiconductor technology is the availability of low defect bulk crystals with defined electronic and crystallographic properties as a substrate for highly perfect epitaxial layers. The present status of crystal quality does not meet this requirement.

It is generally acknowledged that stoichiometry of the gas phase and dopants during sublimation growth of SiC are key parameters which can influence the crystal modification and defect generation and hence the electronic material properties. But there is a great lack of knowledge on the correlation of constitutional process conditions and crystal quality.

In this research, the effect of dopants and stoichiometry on the crystallographic and electronic properties of SiC crystals, will be studied. The influence of the following parameters will be investigated: mechanical, chemical and thermal treatment methods on single crystallinity; impurity doping and SiC composition of the gas phase on stabilisation of polytypes during the crystal growth process; and transition metal doping on the electronic properties.

Optical, electrical and microstructural properties of the prepared crystal specimens will be analysed by different characterisation methods, e.g. photoluminescence, DLTS, and scanning electron microscopy. Numerical modelling of heat and mass transfer will be applied to give information on the constitutional conditions during the crystal growth process.

The results of experimental and numerical studies will be compared to existing theories on polytype formation in SiC. Based on this analysis, concepts for the development of more advanced models on polytypism will be carried out.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

Daten nicht verfügbar

Koordinator

Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Martensstraße 7
91058 Erlangen
Deutschland

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (2)

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