Objectif
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
OBJECTIVES
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
DESCRIPTION OF WORK
WP1: It will focus on the development of the new technology for the fabrication of Bulk Acoustic Wave resonators based on aluminium nitride piezoelectric films. The type of resonator proposed is the FBAR fabricated by surface micromachining processes. Ultimately, the technology will involve piezoelectric layers featuring different thickness in order to cover the targeted frequency bands. Modelling methodology in order to describe accurately the different resonance modes of the FBAR will be also developed. Based on this simulation tool, resonators and front-end filters for different frequency bands will be designed and optimised.
WP2: It will focus on the validation of the Above IC integration of the FBAR technology by demonstrating the technological compatibilities with BiCMOS processes. The FBAR architecture is the most promising for above IC integration, as it does not involve backside alignment and substrate etching. The resonators electrodes can be directly deposited on the IC metallization plugs. Integration will be validated through the realization of the IC process and the above IC process of two demonstrators including integrated functions such as filters and VCO. Analysis of the issues related to the manufacturing of the FBAR resonator products into a production equipment will be done.
WP3: Interest of the above IC FBAR technology for the future telecommunication modules will be demonstrated. Two demonstrators for WCDMA & WLAN applications will be designed and characterized. These circuits will result in a drastic reduction of die area, power consumption and cost. Potentiality of FBAR technology in term of high quality factor and low insertion loss allows to enhance the noise figure and the sensitivity of receiver using FBAR based filter. We will design FBAR based filters and low phase noise FBAR based monolithic oscillators and the low electromagnetic coupling between power amplifier and oscillator will be demonstrated.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métal pauvre
- sciences naturelles informatique et science de l'information logiciel logiciel d’application logiciel de simulation
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
92120 MONTROUGE
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.