Ziel
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
OBJECTIVES
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
DESCRIPTION OF WORK
WP1: It will focus on the development of the new technology for the fabrication of Bulk Acoustic Wave resonators based on aluminium nitride piezoelectric films. The type of resonator proposed is the FBAR fabricated by surface micromachining processes. Ultimately, the technology will involve piezoelectric layers featuring different thickness in order to cover the targeted frequency bands. Modelling methodology in order to describe accurately the different resonance modes of the FBAR will be also developed. Based on this simulation tool, resonators and front-end filters for different frequency bands will be designed and optimised.
WP2: It will focus on the validation of the Above IC integration of the FBAR technology by demonstrating the technological compatibilities with BiCMOS processes. The FBAR architecture is the most promising for above IC integration, as it does not involve backside alignment and substrate etching. The resonators electrodes can be directly deposited on the IC metallization plugs. Integration will be validated through the realization of the IC process and the above IC process of two demonstrators including integrated functions such as filters and VCO. Analysis of the issues related to the manufacturing of the FBAR resonator products into a production equipment will be done.
WP3: Interest of the above IC FBAR technology for the future telecommunication modules will be demonstrated. Two demonstrators for WCDMA & WLAN applications will be designed and characterized. These circuits will result in a drastic reduction of die area, power consumption and cost. Potentiality of FBAR technology in term of high quality factor and low insertion loss allows to enhance the noise figure and the sensitivity of receiver using FBAR based filter. We will design FBAR based filters and low phase noise FBAR based monolithic oscillators and the low electromagnetic coupling between power amplifier and oscillator will be demonstrated.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Nachübergangsmetalle
- Naturwissenschaften Informatik und Informationswissenschaften Software Anwendungssoftware Simulationssoftware
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
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Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Daten nicht verfügbar
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
92120 MONTROUGE
Frankreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.