Cel
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
OBJECTIVES
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
DESCRIPTION OF WORK
WP1: It will focus on the development of the new technology for the fabrication of Bulk Acoustic Wave resonators based on aluminium nitride piezoelectric films. The type of resonator proposed is the FBAR fabricated by surface micromachining processes. Ultimately, the technology will involve piezoelectric layers featuring different thickness in order to cover the targeted frequency bands. Modelling methodology in order to describe accurately the different resonance modes of the FBAR will be also developed. Based on this simulation tool, resonators and front-end filters for different frequency bands will be designed and optimised.
WP2: It will focus on the validation of the Above IC integration of the FBAR technology by demonstrating the technological compatibilities with BiCMOS processes. The FBAR architecture is the most promising for above IC integration, as it does not involve backside alignment and substrate etching. The resonators electrodes can be directly deposited on the IC metallization plugs. Integration will be validated through the realization of the IC process and the above IC process of two demonstrators including integrated functions such as filters and VCO. Analysis of the issues related to the manufacturing of the FBAR resonator products into a production equipment will be done.
WP3: Interest of the above IC FBAR technology for the future telecommunication modules will be demonstrated. Two demonstrators for WCDMA & WLAN applications will be designed and characterized. These circuits will result in a drastic reduction of die area, power consumption and cost. Potentiality of FBAR technology in term of high quality factor and low insertion loss allows to enhance the noise figure and the sensitivity of receiver using FBAR based filter. We will design FBAR based filters and low phase noise FBAR based monolithic oscillators and the low electromagnetic coupling between power amplifier and oscillator will be demonstrated.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metale nieszlachetne
- nauki przyrodnicze informatyka oprogramowanie aplikacje komputerowe oprogramowanie symulacyjne
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Brak dostępnych danych
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
92120 MONTROUGE
Francja
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.