Obiettivo
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
OBJECTIVES
The project MARTINA aims to set up a new above IC Bulk Acoustic Wave (BAW) Resonator technology in order to develop integrated systems for mobile and wireless communications standards. Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) based on AlN piezoelectric layer and surface micro-machining processes will allow to realize high-Q components. An above IC process compatible with BiCMOS technology will be developed and validated. Integrated FBAR resonators will play a major role in the sensitivity of the RF front-end through their implementation in filters and as resonators to achieve low phase noise voltage controlled oscillators. Two demonstrators based on two different BiCMOS technologies will be designed, fabricated and characterized: an integrated RF front-end for 2.2GHz WCDMA and 5GHz FBAR based functions for WLAN applications (HIPERLAN and 802.11a).
DESCRIPTION OF WORK
WP1: It will focus on the development of the new technology for the fabrication of Bulk Acoustic Wave resonators based on aluminium nitride piezoelectric films. The type of resonator proposed is the FBAR fabricated by surface micromachining processes. Ultimately, the technology will involve piezoelectric layers featuring different thickness in order to cover the targeted frequency bands. Modelling methodology in order to describe accurately the different resonance modes of the FBAR will be also developed. Based on this simulation tool, resonators and front-end filters for different frequency bands will be designed and optimised.
WP2: It will focus on the validation of the Above IC integration of the FBAR technology by demonstrating the technological compatibilities with BiCMOS processes. The FBAR architecture is the most promising for above IC integration, as it does not involve backside alignment and substrate etching. The resonators electrodes can be directly deposited on the IC metallization plugs. Integration will be validated through the realization of the IC process and the above IC process of two demonstrators including integrated functions such as filters and VCO. Analysis of the issues related to the manufacturing of the FBAR resonator products into a production equipment will be done.
WP3: Interest of the above IC FBAR technology for the future telecommunication modules will be demonstrated. Two demonstrators for WCDMA & WLAN applications will be designed and characterized. These circuits will result in a drastic reduction of die area, power consumption and cost. Potentiality of FBAR technology in term of high quality factor and low insertion loss allows to enhance the noise figure and the sensitivity of receiver using FBAR based filter. We will design FBAR based filters and low phase noise FBAR based monolithic oscillators and the low electromagnetic coupling between power amplifier and oscillator will be demonstrated.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalli di post-transizione
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione software software applicativi software di simulazione
È necessario effettuare l’accesso o registrarsi per utilizzare questa funzione
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
92120 MONTROUGE
Francia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.