Objetivo
The aim of the work is to deal with the main difficulties involved in the Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (PA-CVD) of amorphous hydro-generated silicon (a-Si:H)
Research has been carried out in order to deal with the main difficulties involved in the plasma assisted chemical vapour deposition (PA-CVD) of amorphous hydrogenerated silicon. The study involves correlating the amorphous film quality with microscopic rather than macroscopic plasma parameters while continuously developing the deposition process. Results so far have shown that poor photon absorption in very thin amorphous silicon enhances photostability but decreases conversation efficiency. This problem was solved by using multijunction cells to absorb a larger spectrum.
The idea that stands behind our approach is to correlate the amorphous film quality with microscopic, rather than macroscopic, plasma parameters while continuously developing the deposition process. Our approach is outlined in the following table:
1) Improvement required:
1.1 Enhancement of the deposition rate
1.2 Enhancement of film characteristics
- Film uniformity
- Film quality
2) Use of extensive diagnostics for the:
2.1 Elucidation of mechanism
2.2 Modelling
2.3 Effective process control
3) Modification of the process
3.1 Modification of plasma characteristics
- Geometrical effects
- Frequency effects
3.2 Modification of the feed gas
- Dilution effects
- Use of Disilane
3.3 Alternative and similar materials
- Application to a-Si:Ge
- Application to a-Si:C
- Application to a-Si:F:H
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería de materiales sólidos amorfos semiconductores amorfos
- ciencias naturales ciencias físicas física de plasmas
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
- ciencias naturales ciencias físicas física teórica física de partículas fotones
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
26500 PATRAS
Grecia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.