Objectif
The aim of the work is to deal with the main difficulties involved in the Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (PA-CVD) of amorphous hydro-generated silicon (a-Si:H)
Research has been carried out in order to deal with the main difficulties involved in the plasma assisted chemical vapour deposition (PA-CVD) of amorphous hydrogenerated silicon. The study involves correlating the amorphous film quality with microscopic rather than macroscopic plasma parameters while continuously developing the deposition process. Results so far have shown that poor photon absorption in very thin amorphous silicon enhances photostability but decreases conversation efficiency. This problem was solved by using multijunction cells to absorb a larger spectrum.
The idea that stands behind our approach is to correlate the amorphous film quality with microscopic, rather than macroscopic, plasma parameters while continuously developing the deposition process. Our approach is outlined in the following table:
1) Improvement required:
1.1 Enhancement of the deposition rate
1.2 Enhancement of film characteristics
- Film uniformity
- Film quality
2) Use of extensive diagnostics for the:
2.1 Elucidation of mechanism
2.2 Modelling
2.3 Effective process control
3) Modification of the process
3.1 Modification of plasma characteristics
- Geometrical effects
- Frequency effects
3.2 Modification of the feed gas
- Dilution effects
- Use of Disilane
3.3 Alternative and similar materials
- Application to a-Si:Ge
- Application to a-Si:C
- Application to a-Si:F:H
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux solides amorphes semi-conducteurs amorphes
- sciences naturelles sciences physiques physique des plasmas
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
- sciences naturelles sciences physiques physique théorique physique des particules photons
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
26500 PATRAS
Grèce
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.