Ziel
The aim of the work is to deal with the main difficulties involved in the Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (PA-CVD) of amorphous hydro-generated silicon (a-Si:H)
Research has been carried out in order to deal with the main difficulties involved in the plasma assisted chemical vapour deposition (PA-CVD) of amorphous hydrogenerated silicon. The study involves correlating the amorphous film quality with microscopic rather than macroscopic plasma parameters while continuously developing the deposition process. Results so far have shown that poor photon absorption in very thin amorphous silicon enhances photostability but decreases conversation efficiency. This problem was solved by using multijunction cells to absorb a larger spectrum.
The idea that stands behind our approach is to correlate the amorphous film quality with microscopic, rather than macroscopic, plasma parameters while continuously developing the deposition process. Our approach is outlined in the following table:
1) Improvement required:
1.1 Enhancement of the deposition rate
1.2 Enhancement of film characteristics
- Film uniformity
- Film quality
2) Use of extensive diagnostics for the:
2.1 Elucidation of mechanism
2.2 Modelling
2.3 Effective process control
3) Modification of the process
3.1 Modification of plasma characteristics
- Geometrical effects
- Frequency effects
3.2 Modification of the feed gas
- Dilution effects
- Use of Disilane
3.3 Alternative and similar materials
- Application to a-Si:Ge
- Application to a-Si:C
- Application to a-Si:F:H
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Werkstofftechnik amorphe Feststoffe amorphe Halbleiter
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Plasmaphysik
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften theoretische Physik Teilchenphysik Photonen
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Daten nicht verfügbar
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
26500 PATRAS
Griechenland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.